| 一种减阻微结构加工系统及方法 |
| 李珣; 李明; 刘红军 ; 谭羽
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| 2020-11-17
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| 专利权人 | 中国科学院西安光学精密机械研究所
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| 公开日期 | 2020-04-24
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| 授权国家 | 中国
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| 专利类型 | 发明专利
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| 产权排序 | 1
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| 摘要 | 本发明属于激光加工技术领域，具体涉及一种减阻微结构加工方法，克服现有激光直写加工效率、控形能力较差的问题，加工系统包括沿光路依次设置的激光器、光路传输系统、分束与光斑切换系统以及紧聚焦光学系统；具体加工时，通过将待加工V形槽进行分层，并将激光光束分束同时根据分层结果调整光斑，一次可以进行至少两条V形槽结构的加工，提高加工效率的同时可提高激光微加工的控形能力。 |
| 授权日期 | 2020-11-17
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| 申请日期 | 2019-12-29
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| 专利号 | CN201911386650.3
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| 语种 | 中文
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| 专利状态 | 授权
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| 申请号 | CN201911386650.3
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| 公开（公告）号 | CN111055018B
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| IPC 分类号 | B23K26/36
; B23K26/046
; B23K26/064
; B23K26/067
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| 文献类型 | 专利
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| 条目标识符 | http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/94025
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| 专题 | 瞬态光学研究室
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推荐引用方式
GB/T 7714 |
李珣,李明,刘红军,等. 一种减阻微结构加工系统及方法. CN201911386650.3[P]. 2020-11-17.
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