一种用于三维成像的探测器及其制作方法 | |
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2019-12-17 | |
专利权人 | 中国科学院西安光学精密机械研究所 |
公开日期 | 2020-04-17 |
授权国家 | 中国 |
专利类型 | 发明专利 |
产权排序 | 1 |
摘要 | 本发明提供了一种用于三维成像的探测器及其制作方法,解决现有位敏阳极探测器容易漏气导致器件无法使用,增加后续电子学处理难度的问题。该探测器包括管壳壳体、微通道板组件、位敏阳极组件、带有光阴极的输入窗,位敏阳极组件包括上层阳极接收面板、下层阳极接收面板及引线电极;上层阳极接收面板和下层阳极接收面板平行间隔设置;上层阳极接收面板包括上层绝缘基底和上层金属电极,与上层金属电极收集区域内微带线间部分对应的上层绝缘基底区域为镂空;下层阳极接收面板包括下层绝缘基底和下层金属电极,下层金属电极的微带线结构与上层金属电极的微带线结构在异层平面上呈垂直交叉,引线电极包括2个上引线电极、2个下引线电极。 |
申请日期 | 2019-12-17 |
专利号 | CN201911301044.7 |
语种 | 中文 |
专利状态 | 申请中 |
申请号 | CN201911301044.7 |
公开(公告)号 | CN111024226A |
IPC 分类号 | G01J1/42 ; H01J40/04 ; H01J40/16 |
文献类型 | 专利 |
条目标识符 | http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/93993 |
专题 | 光电子学研究室 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 刘永安,盛立志,苏桐,等. 一种用于三维成像的探测器及其制作方法. CN201911301044.7[P]. 2019-12-17. |
条目包含的文件 | ||||||
文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
一种用于三维成像的探测器及其制作方法.p(639KB) | 专利 | 限制开放 | CC BY-NC-SA | 请求全文 |
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