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一种用于光电探测成像的位敏阳极及位敏阳极探测器
陈萍; 田进寿; 温文龙
2019-04-03
专利权人中国科学院西安光学精密机械研究所
产权排序1
摘要本发明属于光电探测、成像领域,具体涉及一种用于光电探测成像的位敏阳极及位敏阳极探测器。位敏阳极包括衬底、电荷收集极、金属阳极及连接导线;衬底由介电材料制成,电荷收集极位于衬底输入面之上且与衬底输入面紧贴;金属阳极包括以p×q阵列排列的独立金属阳极单元,其中p,q均为整数,且p≥q,位于衬底输入面下方且与衬底输入面相隔一定距离,使金属阳极与电荷收集极形成电容耦合,将电荷收集极收集到的电荷耦合到金属阳极;连接导线包括以p×q阵列排列的独立导线,与金属阳极单元一一对应连接。解决了现有电荷分割型位敏阳极工艺制作难度大、空间分辨率不易提高、不适宜高温烘烤的缺陷。
申请日期2019-04-03
专利号CN201910266130.2
语种中文
专利状态申请中
申请号CN201910266130.2
公开(公告)号CN110068393A
IPC 分类号G01J1/44 ; H01J40/16 ; H01J40/04
文献类型专利
条目标识符http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/93873
专题条纹相机工程中心
推荐引用方式
GB/T 7714
陈萍,田进寿,温文龙. 一种用于光电探测成像的位敏阳极及位敏阳极探测器. CN201910266130.2[P]. 2019-04-03.
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一种用于光电探测成像的位敏阳极及位敏阳极(361KB)专利 开放获取CC BY-NC-SA请求全文
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