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光束指向及焦深对飞秒激光微圆孔加工的影响研究
宋昶
学位类型硕士
导师杨小君
2020-08-24
学位授予单位中国科学院大学
学位授予地点北京
关键词飞秒激光 微孔加工 长焦深光束 光束指向稳定性 焦点控制
学科领域光学
页数71
语种中文
文献类型学位论文
条目标识符http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/93667
专题研究生部
推荐引用方式
GB/T 7714
宋昶. 光束指向及焦深对飞秒激光微圆孔加工的影响研究[D]. 北京. 中国科学院大学,2020.
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光束指向及焦深对飞秒激光微圆孔加工的影响(5931KB)学位论文 限制开放CC BY-NC-SA请求全文
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