OPT OpenIR  > 研究生部
基于原子层沉积技术微通道板功能层调控机制的研究
郭俊江
学位类型博士
导师彭波
2020-08-20
学位授予单位西安交通大学(光机所联合培养)
学位授予地点西安
关键词原子层沉积 微通道板 导电层 二次电子发射层 增益
学科领域微电子学
页数132
语种中文
第二导师司金海
文献类型学位论文
条目标识符http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/93664
专题研究生部
推荐引用方式
GB/T 7714
郭俊江. 基于原子层沉积技术微通道板功能层调控机制的研究[D]. 西安. 西安交通大学(光机所联合培养),2020.
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基于原子层沉积技术微通道板调控机制的研究(31432KB)学位论文 限制开放CC BY-NC-SA请求全文
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