基于原子层沉积技术微通道板功能层调控机制的研究 | |
郭俊江 | |
学位类型 | 博士 |
导师 | 彭波 |
2020-08-20 | |
学位授予单位 | 西安交通大学(光机所联合培养) |
学位授予地点 | 西安 |
关键词 | 原子层沉积 微通道板 导电层 二次电子发射层 增益 |
学科领域 | 微电子学 |
页数 | 132 |
语种 | 中文 |
第二导师 | 司金海 |
文献类型 | 学位论文 |
条目标识符 | http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/93664 |
专题 | 研究生部 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 郭俊江. 基于原子层沉积技术微通道板功能层调控机制的研究[D]. 西安. 西安交通大学(光机所联合培养),2020. |
条目包含的文件 | ||||||
文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
基于原子层沉积技术微通道板调控机制的研究(31432KB) | 学位论文 | 限制开放 | CC BY-NC-SA | 请求全文 |
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