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半导体激光器光束匀化系统的光学设计
其他题名Optical design of laser diode beam-homogenizing system
孙玉博1,2; 熊玲玲1; 张普1; 王明培1,2; 刘兴胜3
作者部门瞬态光学研究室
2019
发表期刊红外与激光工程
ISSN1007-2276
卷号48期号:12
产权排序1
摘要

为了提高半导体激光器光束的均匀性,设计了非球面与微柱透镜阵列相结合的匀光系统。快轴方向利用光线追迹设计非球面匀化透镜;慢轴方向采用微柱透镜阵列对光束进行分割叠加。半导体激光器输出光束通过该匀光系统,在目标面上可以得到能量匀化的方形光斑。利用Zemax光学软件对半导体激光器单管和阵列进行匀化仿真,验证了该匀化系统应用于半导体激光器整形的可行性,得到了目标面动态范围变化对均匀度的影响程度,研究了微柱透镜阵列间距变化及快轴匀化透镜旋转对光斑均匀度的影响。单管和阵列在输出面上的光斑均匀度均大于90%,能量传输效率分别为95.4%和96.2%。该设计结果对半导体激光器光束匀化具有一定的参考价值。

关键词光束匀化 半导体激光器 微透镜阵列 光学设计 激光光学
DOI10.3788/IRLA201948.1205003
收录类别CSCD
语种中文
CSCD记录号CSCD:6643104
引用统计
文献类型期刊论文
条目标识符http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/93317
专题瞬态光学研究室
作者单位1.中国科学院西安光学精密机械研究所瞬态光学与光子技术国家重点实验室
2.中国科学院大学
3.西安炬光科技股份有限公司
第一作者单位中国科学院西安光学精密机械研究所
推荐引用方式
GB/T 7714
孙玉博,熊玲玲,张普,等. 半导体激光器光束匀化系统的光学设计[J]. 红外与激光工程,2019,48(12).
APA 孙玉博,熊玲玲,张普,王明培,&刘兴胜.(2019).半导体激光器光束匀化系统的光学设计.红外与激光工程,48(12).
MLA 孙玉博,et al."半导体激光器光束匀化系统的光学设计".红外与激光工程 48.12(2019).
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