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一种单横模偏振稳定的垂直腔面发射激光器
其他题名一种单横模偏振稳定的垂直腔面发射激光器
郭霞; 韩明夫
2013-11-27
专利权人北京工业大学
公开日期2013-11-27
授权国家中国
专利类型发明申请
摘要本发明涉及一种单横模偏振稳定的垂直腔面发射激光器。一种单横模偏振稳定输出的垂直腔面发射激光器,包括下电极,衬底,下布拉格反射镜,相位匹配层,增益区,相位匹配层,电流限制层,电流限制孔,上布拉格反射镜,SiO2钝化层,上电极;其特征在于,电流限制孔为各向异性,在[011]、[0‐11]两晶向上的直径比值大于5,且最大直径小于4μm。通过控制电流限制孔尺寸控制器件单横模工作;由各向异性电流限制孔对不同偏振光散射损耗的差异实现对激光器输出光偏振态的调控。本发明可以在全电流范围内实现较高的边模抑制比和偏振抑制比,且所用工艺为传统垂直腔面发射激光器制作工艺,制作成本低,可操作性强,可重复性好。
其他摘要本发明涉及一种单横模偏振稳定的垂直腔面发射激光器。一种单横模偏振稳定输出的垂直腔面发射激光器,包括下电极,衬底,下布拉格反射镜,相位匹配层,增益区,相位匹配层,电流限制层,电流限制孔,上布拉格反射镜,SiO2钝化层,上电极;其特征在于,电流限制孔为各向异性,在[011]、[0‐11]两晶向上的直径比值大于5,且最大直径小于4μm。通过控制电流限制孔尺寸控制器件单横模工作;由各向异性电流限制孔对不同偏振光散射损耗的差异实现对激光器输出光偏振态的调控。本发明可以在全电流范围内实现较高的边模抑制比和偏振抑制比,且所用工艺为传统垂直腔面发射激光器制作工艺,制作成本低,可操作性强,可重复性好。
申请日期2013-07-13
专利号CN103414105A
专利状态失效
申请号CN201310302249.3
公开(公告)号CN103414105A
IPC 分类号H01S5/183 | H01S5/065
专利代理人刘萍
代理机构北京思海天达知识产权代理有限公司
文献类型专利
条目标识符http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/93147
专题半导体激光器专利数据库
作者单位北京工业大学
推荐引用方式
GB/T 7714
郭霞,韩明夫. 一种单横模偏振稳定的垂直腔面发射激光器. CN103414105A[P]. 2013-11-27.
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CN103414105A.PDF(560KB)专利 开放获取CC BY-NC-SA请求全文
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