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半导体激光器及其制备方法
其他题名半导体激光器及其制备方法
周坤; 刘建平; 张书明; 李德尧; 张立群; 杨辉
2016-07-20
专利权人中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
公开日期2016-07-20
授权国家中国
专利类型发明申请
摘要本发明公开了一种半导体激光器,包括叠层设置的N型氮化镓层、N型铝镓氮层、N型铟镓氮层、多量子阱结构层、P型铟镓氮层、P型铝镓氮层和P型氮化镓层,其中,多量子阱结构层中的多个铟镓氮垒层具有倾斜量子垒结构,即在多个铟镓氮垒层中,沿着由P型氮化镓层指向N型氮化镓层的方向,多个铟镓氮垒层中铟的摩尔含量递减。该半导体激光器的制备方法为在生长多量子阱结构层的过程中,通过调节外延生长参数,使得在多量子阱结构层中,沿着由P型氮化镓层指向N型氮化镓层的方向,多个铟镓氮垒层中铟的摩尔含量递减。本发明通过设置倾斜量子垒结构,减小了极化效应,降低了空穴迁移的势垒,减少了电子的泄露,从而降低激射阈值电流密度。
其他摘要本发明公开了一种半导体激光器,包括叠层设置的N型氮化镓层、N型铝镓氮层、N型铟镓氮层、多量子阱结构层、P型铟镓氮层、P型铝镓氮层和P型氮化镓层,其中,多量子阱结构层中的多个铟镓氮垒层具有倾斜量子垒结构,即在多个铟镓氮垒层中,沿着由P型氮化镓层指向N型氮化镓层的方向,多个铟镓氮垒层中铟的摩尔含量递减。该半导体激光器的制备方法为在生长多量子阱结构层的过程中,通过调节外延生长参数,使得在多量子阱结构层中,沿着由P型氮化镓层指向N型氮化镓层的方向,多个铟镓氮垒层中铟的摩尔含量递减。本发明通过设置倾斜量子垒结构,减小了极化效应,降低了空穴迁移的势垒,减少了电子的泄露,从而降低激射阈值电流密度。
申请日期2014-12-18
专利号CN105790072A
专利状态申请中
申请号CN201410797886.7
公开(公告)号CN105790072A
IPC 分类号H01S5/343
专利代理人孙伟峰
代理机构深圳市铭粤知识产权代理有限公司
文献类型专利
条目标识符http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/93071
专题半导体激光器专利数据库
作者单位中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
推荐引用方式
GB/T 7714
周坤,刘建平,张书明,等. 半导体激光器及其制备方法. CN105790072A[P]. 2016-07-20.
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CN105790072A.PDF(152KB)专利 开放获取CC BY-NC-SA请求全文
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