Xi'an Institute of Optics and Precision Mechanics,CAS
| 激光扫描力显微镜 | |
| 其他题名 | 激光扫描力显微镜 |
| 卓永模; 牟旭东; 杨甬英; 游艺锋 | |
| 1999-07-14 | |
| 专利权人 | 浙江大学现代光学仪器研究所 |
| 公开日期 | 1999-07-14 |
| 授权国家 | 中国 |
| 专利类型 | 发明申请 |
| 摘要 | 一种激光扫描力显微镜,其特征是该激光扫描力显微镜由光源1、准直扩束器2、半反半透镜3、显微物镜4、聚焦物镜5、带有光电二极管的前置放大器6、锁相放大器7、压电叠堆8、微探针9、压电扫描台10、带有A/D及D/A转换器的计算机11构成,光源1采用半导体激光器,入射平行激光束通过的显微物镜会聚在微探针的微悬臂端部上,形成反射光和衍射光共路干涉,通过信号处理测得样品表面微细结构数据。同现有技术比较,本方案具有结构简单紧凑,性能稳定可靠,有利于实现小型化等优点,纵向分辨率为0.01nm横向分辨率为5nm。 |
| 其他摘要 | 一种激光扫描力显微镜,其特征是该激光扫描力显微镜由光源1、准直扩束器2、半反半透镜3、显微物镜4、聚焦物镜5、带有光电二极管的前置放大器6、锁相放大器7、压电叠堆8、微探针9、压电扫描台10、带有A/D及D/A转换器的计算机11构成,光源1采用半导体激光器,入射平行激光束通过的显微物镜会聚在微探针的微悬臂端部上,形成反射光和衍射光共路干涉,通过信号处理测得样品表面微细结构数据。同现有技术比较,本方案具有结构简单紧凑,性能稳定可靠,有利于实现小型化等优点,纵向分辨率为0.01nm横向分辨率为5nm。 |
| 申请日期 | 1998-12-27 |
| 专利号 | CN1222672A |
| 专利状态 | 失效 |
| 申请号 | CN98122886.0 |
| 公开（公告）号 | CN1222672A |
| IPC 分类号 | G01B9/04 |
| 专利代理人 | 连寿金 |
| 代理机构 | 浙江高新专利事务所 |
| 文献类型 | 专利 |
| 条目标识符 | http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/92504 |
| 专题 | 半导体激光器专利数据库 |
| 作者单位 | 浙江大学现代光学仪器研究所 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 卓永模,牟旭东,杨甬英,等. 激光扫描力显微镜. CN1222672A[P]. 1999-07-14. |
| 条目包含的文件 | ||||||
| 文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
| CN1222672A.PDF（251KB） | 专利 | 开放获取 | CC BY-NC-SA | 请求全文 | ||
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