一种基于表面光栅的面发射激光器

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	一种基于表面光栅的面发射激光器
其他题名	一种基于表面光栅的面发射激光器
	国伟华; 刘灿; 张鹏斐; 陆巧银
	2019-09-17
专利权人	华中科技大学
公开日期	2019-09-17
授权国家	中国
专利类型	发明申请
摘要	一种基于表面光栅的面发射激光器。该激光器为脊形波导结构，自下而上包含：衬底、下波导盖层、有源层、上波导盖层；在脊形波导表面上刻蚀有布拉格光栅；脊形波导上面不做电极，电极位于脊形波导两侧；在脊形波导与两侧电极之间刻蚀有沟槽；该激光器的下波导盖层中含有一个或多个电流限制区，或者是在上波导盖层中制作一个掩埋隧道结来限制电流。激光器的表面光栅包含两端的一阶光栅和中心区域的二阶光栅。一阶光栅主要起反馈的作用，二阶光栅的作用包括两个方面：一是提供垂直方向的输出，形成面发射；二是产生合适的相移，这样使得布拉格波长能够成为激光器的激射波长。本发明不需要材料的二次外延生长，制作工艺简便，降低了器件的制作成本。
其他摘要	一种基于表面光栅的面发射激光器。该激光器为脊形波导结构，自下而上包含：衬底、下波导盖层、有源层、上波导盖层；在脊形波导表面上刻蚀有布拉格光栅；脊形波导上面不做电极，电极位于脊形波导两侧；在脊形波导与两侧电极之间刻蚀有沟槽；该激光器的下波导盖层中含有一个或多个电流限制区，或者是在上波导盖层中制作一个掩埋隧道结来限制电流。激光器的表面光栅包含两端的一阶光栅和中心区域的二阶光栅。一阶光栅主要起反馈的作用，二阶光栅的作用包括两个方面：一是提供垂直方向的输出，形成面发射；二是产生合适的相移，这样使得布拉格波长能够成为激光器的激射波长。本发明不需要材料的二次外延生长，制作工艺简便，降低了器件的制作成本。
申请日期	2019-07-09
专利号	CN110247302A
专利状态	申请中
申请号	CN201910619098.1
公开（公告）号	CN110247302A
IPC 分类号	H01S5/183 \| H01S5/22 \| H01S5/34 \| H01S5/187
专利代理人	闵华明 \| 李小艳
代理机构	深圳市迪斯卓越专利代理事务所(普通合伙)
文献类型	专利
条目标识符	http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/92465
专题	半导体激光器专利数据库
作者单位	华中科技大学
推荐引用方式 GB/T 7714	国伟华,刘灿,张鹏斐,等. 一种基于表面光栅的面发射激光器. CN110247302A[P]. 2019-09-17.

条目包含的文件
文件名称/大小	文献类型	版本类型	开放类型	使用许可
CN110247302A.PDF（3370KB）	专利		开放获取	CC BY-NC-SA	请求全文