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一种分布反馈激光器阵列
其他题名一种分布反馈激光器阵列
黄长统; 薛正群; 苏辉; 刘阳; 吴林福生; 杨重英
2019-08-16
专利权人深圳市特发信息股份有限公司
公开日期2019-08-16
授权国家中国
专利类型实用新型
摘要本实用新型实施例涉及一种分布反馈激光器阵列,所述阵列包括衬底及在衬底上依次生长的缓冲层、光栅层、选择生长区域外延层,在所述光栅层的不同区域具有周期不同的均匀光栅,选择生长区域的位置与不同周期的光栅的位置相对应;所述选择生长区域外延层自下而上依次包括间隔层、下波导层、多量子阱、上波导层和覆盖层;在选择生长区域以外的区域生长有电流阻挡层;在选择生长区域的覆盖层和电流阻挡层上依次生长有空间层和欧姆接触层。该激光器阵列实现了单片上多波长输出的激光器阵列。
其他摘要本实用新型实施例涉及一种分布反馈激光器阵列,所述阵列包括衬底及在衬底上依次生长的缓冲层、光栅层、选择生长区域外延层,在所述光栅层的不同区域具有周期不同的均匀光栅,选择生长区域的位置与不同周期的光栅的位置相对应;所述选择生长区域外延层自下而上依次包括间隔层、下波导层、多量子阱、上波导层和覆盖层;在选择生长区域以外的区域生长有电流阻挡层;在选择生长区域的覆盖层和电流阻挡层上依次生长有空间层和欧姆接触层。该激光器阵列实现了单片上多波长输出的激光器阵列。
申请日期2018-12-07
专利号CN209266845U
专利状态授权
申请号CN201822053679.7
公开(公告)号CN209266845U
IPC 分类号H01S5/343 | H01S5/22 | H01S5/12
专利代理人姚正阳 | 张田勇
代理机构北京知元同创知识产权代理事务所(普通合伙)
文献类型专利
条目标识符http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/92446
专题半导体激光器专利数据库
作者单位深圳市特发信息股份有限公司
推荐引用方式
GB/T 7714
黄长统,薛正群,苏辉,等. 一种分布反馈激光器阵列. CN209266845U[P]. 2019-08-16.
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CN209266845U.PDF(278KB)专利 开放获取CC BY-NC-SA请求全文
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