Xi'an Institute of Optics and Precision Mechanics,CAS
| 氮化镓的分布式布拉格反射镜及谐振腔的制备方法 | |
| 其他题名 | 氮化镓的分布式布拉格反射镜及谐振腔的制备方法 |
| 张跃进; 黄德昌; 李波; 展爱云; 胡勇 | |
| 2019-06-28 | |
| 专利权人 | 钟祥博谦信息科技有限公司 |
| 公开日期 | 2019-06-28 |
| 授权国家 | 中国 |
| 专利类型 | 发明申请 |
| 摘要 | 本发明涉及一种氮化镓的分布式布拉格反射镜及谐振腔的制备方法，包括：对蓝宝石进行预处理，获得具有缓冲层的蓝宝石；基于金属有机物化学气相沉积技术在缓冲层上生长预设数量的堆叠结构，获得氮化镓外延片；基于等离子刻蚀法对所述氮化镓外延片进行刻蚀，得到具有腐蚀窗口的氮化镓外延片；对具有腐蚀窗口的氮化镓外延片进行电化学腐蚀，得到氮化镓的分布式布拉格反射镜。 |
| 其他摘要 | 本发明涉及一种氮化镓的分布式布拉格反射镜及谐振腔的制备方法，包括：对蓝宝石进行预处理，获得具有缓冲层的蓝宝石；基于金属有机物化学气相沉积技术在缓冲层上生长预设数量的堆叠结构，获得氮化镓外延片；基于等离子刻蚀法对所述氮化镓外延片进行刻蚀，得到具有腐蚀窗口的氮化镓外延片；对具有腐蚀窗口的氮化镓外延片进行电化学腐蚀，得到氮化镓的分布式布拉格反射镜。 |
| 申请日期 | 2019-03-29 |
| 专利号 | CN109950792A |
| 专利状态 | 申请中 |
| 申请号 | CN201910256632.7 |
| 公开（公告）号 | CN109950792A |
| IPC 分类号 | H01S5/125 | H01S5/028 |
| 专利代理人 | 涂凤琴 |
| 代理机构 | 北京细软智谷知识产权代理有限责任公司 |
| 文献类型 | 专利 |
| 条目标识符 | http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/92422 |
| 专题 | 半导体激光器专利数据库 |
| 作者单位 | 钟祥博谦信息科技有限公司 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 张跃进,黄德昌,李波,等. 氮化镓的分布式布拉格反射镜及谐振腔的制备方法. CN109950792A[P]. 2019-06-28. |
| 条目包含的文件 | ||||||
| 文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
| CN109950792A.PDF（952KB） | 专利 | 开放获取 | CC BY-NC-SA | 请求全文 | ||
| 个性服务 |
| 推荐该条目 |
| 保存到收藏夹 |
| 查看访问统计 |
| 导出为Endnote文件 |
| 谷歌学术 |
| 谷歌学术中相似的文章 |
| [张跃进]的文章 |
| [黄德昌]的文章 |
| [李波]的文章 |
| 百度学术 |
| 百度学术中相似的文章 |
| [张跃进]的文章 |
| [黄德昌]的文章 |
| [李波]的文章 |
| 必应学术 |
| 必应学术中相似的文章 |
| [张跃进]的文章 |
| [黄德昌]的文章 |
| [李波]的文章 |
| 相关权益政策 |
| 暂无数据 |
| 收藏/分享 |
除非特别说明，本系统中所有内容都受版权保护，并保留所有权利。
修改评论