一种面发射激光器、面发射激光器阵列及光学扫描装置

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	一种面发射激光器、面发射激光器阵列及光学扫描装置
其他题名	一种面发射激光器、面发射激光器阵列及光学扫描装置
	佟存柱; 陆寰宇; 田思聪; 汪丽杰; 舒世立; 张新; 王立军
	2019-01-08
专利权人	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
公开日期	2019-01-08
授权国家	中国
专利类型	发明申请
摘要	本发明公开了一种面发射激光器，所述面发射激光器包括光子晶体区域，所述光子晶体区域包括具有孔洞的光子晶体，所述孔洞的刻蚀周期、刻蚀深度及刻蚀半径满足产生的激光频率位于所述光子晶体能带中简并的Γ2位置；所述光子晶体为三角晶格构成的矩形光子晶体；所述光子晶体内部的光子晶体腔及反馈区形成的耦合反馈腔，产生谐振的方向相同。本发明通过调整光子晶体与反馈区，使上述光子晶体腔和上述耦合反馈腔的谐振方向相同，因此可以在不借助现有技术中上下匹配的布拉格反射镜的情况下，实现高功率单模面发射输出，避免了布拉格反射镜制备过程中复杂的键合与外延生长工艺。本发明还提供了一种具有上述有益效果的面发射激光阵列和光学扫描装置。
其他摘要	本发明公开了一种面发射激光器，所述面发射激光器包括光子晶体区域，所述光子晶体区域包括具有孔洞的光子晶体，所述孔洞的刻蚀周期、刻蚀深度及刻蚀半径满足产生的激光频率位于所述光子晶体能带中简并的Γ2位置；所述光子晶体为三角晶格构成的矩形光子晶体；所述光子晶体内部的光子晶体腔及反馈区形成的耦合反馈腔，产生谐振的方向相同。本发明通过调整光子晶体与反馈区，使上述光子晶体腔和上述耦合反馈腔的谐振方向相同，因此可以在不借助现有技术中上下匹配的布拉格反射镜的情况下，实现高功率单模面发射输出，避免了布拉格反射镜制备过程中复杂的键合与外延生长工艺。本发明还提供了一种具有上述有益效果的面发射激光阵列和光学扫描装置。
申请日期	2018-11-12
专利号	CN109167255A
专利状态	申请中
申请号	CN201811340019.5
公开（公告）号	CN109167255A
IPC 分类号	H01S5/183 \| G02B26/10
专利代理人	罗满
代理机构	北京集佳知识产权代理有限公司
文献类型	专利
条目标识符	http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/92315
专题	半导体激光器专利数据库
作者单位	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
推荐引用方式 GB/T 7714	佟存柱,陆寰宇,田思聪,等. 一种面发射激光器、面发射激光器阵列及光学扫描装置. CN109167255A[P]. 2019-01-08.

条目包含的文件
文件名称/大小	文献类型	版本类型	开放类型	使用许可
CN109167255A.PDF（602KB）	专利		开放获取	CC BY-NC-SA	请求全文