一种微盘拉曼激光器及其制作方法

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	一种微盘拉曼激光器及其制作方法
其他题名	一种微盘拉曼激光器及其制作方法
	姜校顺; 李昊; 程欣宇; 顾佳新; 肖敏
	2018-11-30
专利权人	南京大学
公开日期	2018-11-30
授权国家	中国
专利类型	发明申请
摘要	本发明实施例公开了一种微盘拉曼激光器及其制作方法。其中，微盘拉曼激光器包括：在基板上涂布光刻胶；其中，所述基板包括半导体基底，所述半导体基底上形成有氧化物半导体层；将设置有圆形镂空图案的掩模版作为掩膜，对所述光刻胶进行光刻和显影，获取光刻胶圆盘；以所述光刻胶圆盘作为掩膜，对所述氧化物半导体层进行等离子体刻蚀，获取氧化物半导体微盘；对所述氧化物半导体微盘上的所述光刻胶圆盘进行清洗；以所述氧化物半导体微盘作为掩模，刻蚀所述半导体基底，形成支撑所述氧化物半导体微盘的支撑柱。本发明实施例提供的技术方案，可解决现有微腔拉曼激光器刻蚀精度不高，重复性差的问题。
其他摘要	本发明实施例公开了一种微盘拉曼激光器及其制作方法。其中，微盘拉曼激光器包括：在基板上涂布光刻胶；其中，所述基板包括半导体基底，所述半导体基底上形成有氧化物半导体层；将设置有圆形镂空图案的掩模版作为掩膜，对所述光刻胶进行光刻和显影，获取光刻胶圆盘；以所述光刻胶圆盘作为掩膜，对所述氧化物半导体层进行等离子体刻蚀，获取氧化物半导体微盘；对所述氧化物半导体微盘上的所述光刻胶圆盘进行清洗；以所述氧化物半导体微盘作为掩模，刻蚀所述半导体基底，形成支撑所述氧化物半导体微盘的支撑柱。本发明实施例提供的技术方案，可解决现有微腔拉曼激光器刻蚀精度不高，重复性差的问题。
申请日期	2018-07-27
专利号	CN108923245A
专利状态	申请中
申请号	CN201810847942.1
公开（公告）号	CN108923245A
IPC 分类号	H01S5/02
专利代理人	孟金喆
代理机构	北京品源专利代理有限公司
文献类型	专利
条目标识符	http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/92282
专题	半导体激光器专利数据库
作者单位	南京大学
推荐引用方式 GB/T 7714	姜校顺,李昊,程欣宇,等. 一种微盘拉曼激光器及其制作方法. CN108923245A[P]. 2018-11-30.

条目包含的文件
文件名称/大小	文献类型	版本类型	开放类型	使用许可
CN108923245A.PDF（913KB）	专利		开放获取	CC BY-NC-SA	请求全文