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垂直面腔表面发射激光器及其制备方法
其他题名垂直面腔表面发射激光器及其制备方法
朱明星; 周少将; 王伟明; 李华
2018-11-09
专利权人江苏宜兴德融科技有限公司
公开日期2018-11-09
授权国家中国
专利类型发明申请
摘要本公开涉及一种垂直面腔表面发射激光器及其制备方法。所述垂直面腔表面发射激光器包括:按顺序层叠设置的第一反射镜层、有源层和第二反射镜层,所述第二反射镜层位于出光侧,所述第一反射镜层位于非出光侧,其特征在于:所述第一反射镜层包括位于非出光侧的金属反射镜层和介于金属反射镜层与有源区之间的第一布拉格反射镜层;以及所述第二反射镜层包括第二布拉格反射镜层。本公开的垂直面腔表面发射激光器及其制备方法,可以提高垂直面腔表面发射激光器的性能。
其他摘要本公开涉及一种垂直面腔表面发射激光器及其制备方法。所述垂直面腔表面发射激光器包括:按顺序层叠设置的第一反射镜层、有源层和第二反射镜层,所述第二反射镜层位于出光侧,所述第一反射镜层位于非出光侧,其特征在于:所述第一反射镜层包括位于非出光侧的金属反射镜层和介于金属反射镜层与有源区之间的第一布拉格反射镜层;以及所述第二反射镜层包括第二布拉格反射镜层。本公开的垂直面腔表面发射激光器及其制备方法,可以提高垂直面腔表面发射激光器的性能。
申请日期2018-03-23
专利号CN108777433A
专利状态申请中
申请号CN201810251636.1
公开(公告)号CN108777433A
IPC 分类号H01S5/183 | H01S5/187
专利代理人张成新
代理机构中科专利商标代理有限责任公司
文献类型专利
条目标识符http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/92263
专题半导体激光器专利数据库
作者单位江苏宜兴德融科技有限公司
推荐引用方式
GB/T 7714
朱明星,周少将,王伟明,等. 垂直面腔表面发射激光器及其制备方法. CN108777433A[P]. 2018-11-09.
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CN108777433A.PDF(705KB)专利 开放获取CC BY-NC-SA请求全文
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