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基于模斑转换结构的超辐射发光二极管
其他题名基于模斑转换结构的超辐射发光二极管
郭文涛; 谭满清; 熊迪; 赵亚利; 曹营春; 万丽丽; 刘珩
2018-10-02
专利权人中国科学院半导体研究所
公开日期2018-10-02
授权国家中国
专利类型发明申请
摘要本公开提供了一种基于模斑转换结构的超辐射发光二极管,包括:n‑InP衬底;无源波导层,设置于n‑InP衬底上;有源区,设置于无源波导层上,用于发射激光,包括应变量子阱和设置于应变量子阱上的势垒层;波导结构,设置于有源区上,所述波导结构包括:斜三角吸收区,设置于一端;增益区,紧邻斜三角吸收区设置;以及模斑转换结构,紧邻增益区设置,是宽度渐变的楔形波导结构,用于将有源区发射的激光低损耗地耦合进无源波导层;以及电极,设置于超辐射发光二极管器件上部脊结构的表面,与波导结构的增益区上下对应,用于对超辐射发光二极管进行电注入,提高了超辐射发光二极管和外接光纤的耦合效率,又提高了其偏调允差,降低了耦合封装工艺难度。
其他摘要本公开提供了一种基于模斑转换结构的超辐射发光二极管,包括:n‑InP衬底;无源波导层,设置于n‑InP衬底上;有源区,设置于无源波导层上,用于发射激光,包括应变量子阱和设置于应变量子阱上的势垒层;波导结构,设置于有源区上,所述波导结构包括:斜三角吸收区,设置于一端;增益区,紧邻斜三角吸收区设置;以及模斑转换结构,紧邻增益区设置,是宽度渐变的楔形波导结构,用于将有源区发射的激光低损耗地耦合进无源波导层;以及电极,设置于超辐射发光二极管器件上部脊结构的表面,与波导结构的增益区上下对应,用于对超辐射发光二极管进行电注入,提高了超辐射发光二极管和外接光纤的耦合效率,又提高了其偏调允差,降低了耦合封装工艺难度。
申请日期2018-04-24
专利号CN108616034A
专利状态申请中
申请号CN201810375658.9
公开(公告)号CN108616034A
IPC 分类号H01S5/34 | H01S5/00
专利代理人任岩
代理机构中科专利商标代理有限责任公司
文献类型专利
条目标识符http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/92244
专题半导体激光器专利数据库
作者单位中国科学院半导体研究所
推荐引用方式
GB/T 7714
郭文涛,谭满清,熊迪,等. 基于模斑转换结构的超辐射发光二极管. CN108616034A[P]. 2018-10-02.
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