一种基于表面光栅的DFB激光器

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	一种基于表面光栅的DFB激光器
其他题名	一种基于表面光栅的DFB激光器
	陆巧银; 张鹏斐; 国伟华
	2018-06-28
专利权人	华中科技大学
公开日期	2018-06-28
授权国家	世界知识产权组织
专利类型	发明申请
摘要	一种基于表面光栅的DFB激光器。激光器为脊形波导结构，自下而上包含：衬底（1）、下波导盖层（3）、有源层（4）、上波导盖层（5）；在脊形波导表面上刻蚀有布拉格光栅（11）；脊区采用高折射率材料，使光栅（11）具有大的耦合系数；脊形波导上面不做电极，上电极（13）位于脊形波导两侧；在脊形波导与两侧上电极（13）之间刻蚀有沟槽；激光器的下波导盖层（3）中含有一个或多个电流限制区（12），或者是在上波导盖层（5）中制作一个掩埋隧道结来限制电流。激光器不需要材料的二次外延生长，制作工艺简便，因而降低了激光器的制作成本，提高了激光器的可靠性。此外激光器可以获得大的耦合系数，因而在激光器腔长很短的情况下能获得低阈值以及高速直调的激光器性能。
其他摘要	一种基于表面光栅的DFB激光器。激光器为脊形波导结构，自下而上包含：衬底（1）、下波导盖层（3）、有源层（4）、上波导盖层（5）；在脊形波导表面上刻蚀有布拉格光栅（11）；脊区采用高折射率材料，使光栅（11）具有大的耦合系数；脊形波导上面不做电极，上电极（13）位于脊形波导两侧；在脊形波导与两侧上电极（13）之间刻蚀有沟槽；激光器的下波导盖层（3）中含有一个或多个电流限制区（12），或者是在上波导盖层（5）中制作一个掩埋隧道结来限制电流。激光器不需要材料的二次外延生长，制作工艺简便，因而降低了激光器的制作成本，提高了激光器的可靠性。此外激光器可以获得大的耦合系数，因而在激光器腔长很短的情况下能获得低阈值以及高速直调的激光器性能。
申请日期	2017-12-01
专利号	WO2018113501A1
专利状态	未确认
申请号	PCT/CN2017/114175
公开（公告）号	WO2018113501A1
IPC 分类号	H01S5/183 \| H01S5/187 \| H01S5/125 \| H01S5/22
专利代理人	-
代理机构	-
文献类型	专利
条目标识符	http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/92219
专题	半导体激光器专利数据库
作者单位	华中科技大学
推荐引用方式 GB/T 7714	陆巧银,张鹏斐,国伟华. 一种基于表面光栅的DFB激光器. WO2018113501A1[P]. 2018-06-28.