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一种单片硅基发射器
其他题名一种单片硅基发射器
冯朋; 肖希; 王磊; 陈代高; 余少华
2018-06-19
专利权人武汉邮电科学研究院
公开日期2018-06-19
授权国家中国
专利类型发明申请
摘要本发明公开了一种单片硅基发射器,涉及硅光子与光电子集成领域。该发射器包括:一个集成到硅基平台的激光器;一个形成于硅波导端面的尖端模斑匹配器;一个作为MZI调制器输入端的硅波导双锥分束器,该硅波导双锥分束器与尖端模斑匹配器相连;两个分别形成于MZI调制器两臂上的热电极和/或两个分别形成于MZI调制器两臂上的高频电极;一个形成于MZI调制器输出端后面的MMI分束器,该MMI分束器分出有两个输出端口;以及一个形成于硅基平台,且与MMI分束器其中一个输出端口连接的背光探测器。本发明不但实现了激光器与调制器在硅基平台单片集成,而且制作成本低、工艺简单、集成度高且利于大规模生产。
其他摘要本发明公开了一种单片硅基发射器,涉及硅光子与光电子集成领域。该发射器包括:一个集成到硅基平台的激光器;一个形成于硅波导端面的尖端模斑匹配器;一个作为MZI调制器输入端的硅波导双锥分束器,该硅波导双锥分束器与尖端模斑匹配器相连;两个分别形成于MZI调制器两臂上的热电极和/或两个分别形成于MZI调制器两臂上的高频电极;一个形成于MZI调制器输出端后面的MMI分束器,该MMI分束器分出有两个输出端口;以及一个形成于硅基平台,且与MMI分束器其中一个输出端口连接的背光探测器。本发明不但实现了激光器与调制器在硅基平台单片集成,而且制作成本低、工艺简单、集成度高且利于大规模生产。
申请日期2017-12-26
专利号CN108183390A
专利状态授权
申请号CN201711437304.4
公开(公告)号CN108183390A
IPC 分类号H01S5/026
专利代理人张雯俐
代理机构武汉智权专利代理事务所(特殊普通合伙)
文献类型专利
条目标识符http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/92217
专题半导体激光器专利数据库
作者单位武汉邮电科学研究院
推荐引用方式
GB/T 7714
冯朋,肖希,王磊,等. 一种单片硅基发射器. CN108183390A[P]. 2018-06-19.
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CN108183390A.PDF(543KB)专利 开放获取CC BY-NC-SA请求全文
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