一种无温漂的片上集成激光器及其制备方法

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	一种无温漂的片上集成激光器及其制备方法
其他题名	一种无温漂的片上集成激光器及其制备方法
	张宇光; 胡晓; 肖希; 冯朋; 陈代高; 王磊; 李淼峰; 余少华
	2018-06-05
专利权人	武汉邮电科学研究院
公开日期	2018-06-05
授权国家	中国
专利类型	发明申请
摘要	本发明公开了一种无温漂的片上集成激光器及其制备方法，涉及光电子器件技术领域。该激光器包括：增益介质、模斑转换器、对准标记、无温漂的混合集成光波导和无温漂的光学谐振腔；该增益介质通过模斑转换器与无温漂的混合集成光波导相连。其中，无温漂的混合集成光波导包括形成于低折射率衬底上的高折射率材料层和负热光系数材料层，该负热光系数材料层能够对高折射率材料层的正热光系数进行补偿；无温漂的光学谐振腔是基于无温漂的混合集成光波导组成的谐振腔结构，用于实现激光器的输出波长在不同温度下的稳定。本发明能解决硅基片上集成激光器的出射波长随温度变化的问题，且无需增设额外调控器件，使得激光器的功耗低、集成度高、制备成本低。
其他摘要	本发明公开了一种无温漂的片上集成激光器及其制备方法，涉及光电子器件技术领域。该激光器包括：增益介质、模斑转换器、对准标记、无温漂的混合集成光波导和无温漂的光学谐振腔；该增益介质通过模斑转换器与无温漂的混合集成光波导相连。其中，无温漂的混合集成光波导包括形成于低折射率衬底上的高折射率材料层和负热光系数材料层，该负热光系数材料层能够对高折射率材料层的正热光系数进行补偿；无温漂的光学谐振腔是基于无温漂的混合集成光波导组成的谐振腔结构，用于实现激光器的输出波长在不同温度下的稳定。本发明能解决硅基片上集成激光器的出射波长随温度变化的问题，且无需增设额外调控器件，使得激光器的功耗低、集成度高、制备成本低。
申请日期	2017-12-25
专利号	CN108123365A
专利状态	申请中
申请号	CN201711425048.7
公开（公告）号	CN108123365A
IPC 分类号	H01S5/10 \| H01S5/20
专利代理人	张雯俐
代理机构	武汉智权专利代理事务所(特殊普通合伙)
文献类型	专利
条目标识符	http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/92213
专题	半导体激光器专利数据库
作者单位	武汉邮电科学研究院
推荐引用方式 GB/T 7714	张宇光,胡晓,肖希,等. 一种无温漂的片上集成激光器及其制备方法. CN108123365A[P]. 2018-06-05.

条目包含的文件
文件名称/大小	文献类型	版本类型	开放类型	使用许可
CN108123365A.PDF（430KB）	专利		开放获取	CC BY-NC-SA	请求全文