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一种发光波长可调谐的GaN基垂直腔面发射光源
其他题名一种发光波长可调谐的GaN基垂直腔面发射光源
张保平; 梅洋; 许荣彬; 翁国恩; 应磊莹; 郑志威
2018-03-30
专利权人厦门大学
公开日期2018-03-30
授权国家中国
专利类型发明申请
摘要一种发光波长可调谐的GaN基垂直腔面发射光源,涉及发射光源。设有外延层,所述外延层从下至上依次为:衬底、下介质膜分布布拉格反射镜、ITO电流扩展层、p型Cr/Au电极、SiO2电流限制层、p型GaN、量子点有源层、n型GaN、n型Cr/Au电极和上介质膜分布布拉格反射镜。使用具有不同尺寸量子点作为有源区,得到了可调谐的增益特性,结合谐振腔效应,得到了发光波长在强耦合模式之间可调谐的输出特性。发光波长调谐范围从黄绿光到紫光,实现了大范围调谐。相比于以往制作可调谐发光器件的方法,不需要复杂的材料生长以及期间制作工艺,大大简化了工艺过程以及器件制作难度,并且提高了发光波长的调谐范围。
其他摘要一种发光波长可调谐的GaN基垂直腔面发射光源,涉及发射光源。设有外延层,所述外延层从下至上依次为:衬底、下介质膜分布布拉格反射镜、ITO电流扩展层、p型Cr/Au电极、SiO2电流限制层、p型GaN、量子点有源层、n型GaN、n型Cr/Au电极和上介质膜分布布拉格反射镜。使用具有不同尺寸量子点作为有源区,得到了可调谐的增益特性,结合谐振腔效应,得到了发光波长在强耦合模式之间可调谐的输出特性。发光波长调谐范围从黄绿光到紫光,实现了大范围调谐。相比于以往制作可调谐发光器件的方法,不需要复杂的材料生长以及期间制作工艺,大大简化了工艺过程以及器件制作难度,并且提高了发光波长的调谐范围。
申请日期2017-11-03
专利号CN107863688A
专利状态申请中
申请号CN201711072492.5
公开(公告)号CN107863688A
IPC 分类号H01S5/187 | H01S5/34 | H01S5/065
专利代理人马应森
代理机构厦门南强之路专利事务所(普通合伙)
文献类型专利
条目标识符http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/92184
专题半导体激光器专利数据库
作者单位厦门大学
推荐引用方式
GB/T 7714
张保平,梅洋,许荣彬,等. 一种发光波长可调谐的GaN基垂直腔面发射光源. CN107863688A[P]. 2018-03-30.
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