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GaN基复合DBR谐振腔激光器外延片、激光器及制备方法
其他题名GaN基复合DBR谐振腔激光器外延片、激光器及制备方法
孙慧卿; 张秀; 郭志友; 侯玉菲; 汪鑫; 龚星; 徐智鸿; 刘天意
2018-03-16
专利权人华南师范大学
公开日期2018-03-16
授权国家中国
专利类型发明申请
摘要本发明公开了GaN基复合DBR谐振腔激光器外延片、激光器及制备方法,所述GaN基复合DBR谐振腔激光器外延片由下至上依次包括:衬底、缓冲层、AlN/GaN布拉格反射镜、n‑GaN层、下波导层、多量子阱层、上波导层、超晶格电子阻挡层、p‑GaN层,所述超晶格电子阻挡层的材料为Al组分渐变的p‑AlxGa1‑xN/GaN,其中,0
其他摘要本发明公开了GaN基复合DBR谐振腔激光器外延片、激光器及制备方法,所述GaN基复合DBR谐振腔激光器外延片由下至上依次包括:衬底、缓冲层、AlN/GaN布拉格反射镜、n‑GaN层、下波导层、多量子阱层、上波导层、超晶格电子阻挡层、p‑GaN层,所述超晶格电子阻挡层的材料为Al组分渐变的p‑AlxGa1‑xN/GaN,其中,0
申请日期2017-10-26
专利号CN107809057A
专利状态申请中
申请号CN201711013670.7
公开(公告)号CN107809057A
IPC 分类号H01S5/34 | H01S5/125
专利代理人林伟斌 | 郑永泉
代理机构广州粤高专利商标代理有限公司
文献类型专利
条目标识符http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/92177
专题半导体激光器专利数据库
作者单位华南师范大学
推荐引用方式
GB/T 7714
孙慧卿,张秀,郭志友,等. GaN基复合DBR谐振腔激光器外延片、激光器及制备方法. CN107809057A[P]. 2018-03-16.
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