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InGaN/AlInN量子阱激光器及其制作方法
其他题名InGaN/AlInN量子阱激光器及其制作方法
郭志友; 侯玉菲; 孙慧卿; 汪鑫; 张秀; 龚星; 徐智鸿; 刘天意
2018-01-12
专利权人华南师范大学
公开日期2018-01-12
授权国家中国
专利类型发明申请
摘要本发明公开了一种InGaN/AlInN量子阱激光器,由下至上依次包括:衬底、缓冲层、下包覆层、下V型波导层、有源区、电子阻挡层、上V型波导层、上包覆层、欧姆接触层和电极,所述下V型波导层和上V型波导层均为AlGaN材料,所述有源区为InGaN/AlInN量子阱层。所述InGaN/AlInN量子阱激光器以AlGaN材料为波导层、有源区以AlInN材料作为垒层、InGaN作为阱层,降低了材料的晶格失配,有源区中极化现象弱,极化场和腔面损耗小,阀值电流低,量子阱激光器的光学性能优异。
其他摘要本发明公开了一种InGaN/AlInN量子阱激光器,由下至上依次包括:衬底、缓冲层、下包覆层、下V型波导层、有源区、电子阻挡层、上V型波导层、上包覆层、欧姆接触层和电极,所述下V型波导层和上V型波导层均为AlGaN材料,所述有源区为InGaN/AlInN量子阱层。所述InGaN/AlInN量子阱激光器以AlGaN材料为波导层、有源区以AlInN材料作为垒层、InGaN作为阱层,降低了材料的晶格失配,有源区中极化现象弱,极化场和腔面损耗小,阀值电流低,量子阱激光器的光学性能优异。
申请日期2017-10-26
专利号CN107579432A
专利状态授权
申请号CN201711015135.5
公开(公告)号CN107579432A
IPC 分类号H01S5/343
专利代理人林伟斌 | 郑永泉
代理机构广州粤高专利商标代理有限公司
文献类型专利
条目标识符http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/92144
专题半导体激光器专利数据库
作者单位华南师范大学
推荐引用方式
GB/T 7714
郭志友,侯玉菲,孙慧卿,等. InGaN/AlInN量子阱激光器及其制作方法. CN107579432A[P]. 2018-01-12.
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