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一种基于准二维光栅的混合模式激光器、阵列及制作方法
其他题名一种基于准二维光栅的混合模式激光器、阵列及制作方法
施跃春; 肖如磊; 陈向飞; 张云山; 郑吉林; 陆骏
2016-05-04
专利权人南京大学
公开日期2016-05-04
授权国家中国
专利类型发明申请
摘要本申请公开了一种基于准二维光栅的混合模式激光器、阵列及制作方法。该方法包括:制作用于构成激光器混合模式谐振腔的光栅;其中所述光栅用于实现激光器谐振腔中相同波长的激光以两种以上的模式共同发射;所述光栅包含相移结构;通过后续工艺,制备激光器;所述后续工艺包括刻蚀工艺和沉积金属工艺。本发明解决了现有技术中的模分复用光子集成芯片的光源光耦合损耗大的问题。
其他摘要本申请公开了一种基于准二维光栅的混合模式激光器、阵列及制作方法。该方法包括:制作用于构成激光器混合模式谐振腔的光栅;其中所述光栅用于实现激光器谐振腔中相同波长的激光以两种以上的模式共同发射;所述光栅包含相移结构;通过后续工艺,制备激光器;所述后续工艺包括刻蚀工艺和沉积金属工艺。本发明解决了现有技术中的模分复用光子集成芯片的光源光耦合损耗大的问题。
申请日期2016-02-05
专利号CN105552717A
专利状态授权
申请号CN201610082345.5
公开(公告)号CN105552717A
IPC 分类号H01S5/40 | H01S5/12
专利代理人黄熊
代理机构北京国昊天诚知识产权代理有限公司
文献类型专利
条目标识符http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/92087
专题半导体激光器专利数据库
作者单位南京大学
推荐引用方式
GB/T 7714
施跃春,肖如磊,陈向飞,等. 一种基于准二维光栅的混合模式激光器、阵列及制作方法. CN105552717A[P]. 2016-05-04.
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