十二边形氧化锌回音壁模紫外微激光异质结二极管的制备

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	十二边形氧化锌回音壁模紫外微激光异质结二极管的制备
其他题名	十二边形氧化锌回音壁模紫外微激光异质结二极管的制备
	徐春祥; 戴俊; 朱刚毅; 石增良
	2012-06-13
专利权人	东南大学
公开日期	2012-06-13
授权国家	中国
专利类型	发明申请
摘要	本发明公开了一种结合p型氮化镓衬底制备十二边形氧化锌回音壁模紫外微激光异质结二极管方法。该方法首先利用高温气相传输法制备具有十二边形截面的氧化锌微米棒。将氧化锌微米棒分散在p型氮化镓衬底上形成pn结构器件，然后利用旋涂方法将聚甲基丙烯酸甲酯薄膜沉积在pn结构器件表面，利用反应离子束刻蚀使氧化锌微米棒上表面从聚甲基丙烯酸甲酯薄膜中显露出来，最后采用磁控溅射技术在p型氮化镓表面和氧化锌微米棒表面制备电极，从而形成回音壁模紫外微激光异质结二极管。该方法利用光线在十二边形氧化锌微米棒内的内壁全反射构成高品质的回音壁模微激光，通过选择不同尺寸的氧化锌微米棒可实现不同要求的紫外激光输出波长。
其他摘要	本发明公开了一种结合p型氮化镓衬底制备十二边形氧化锌回音壁模紫外微激光异质结二极管方法。该方法首先利用高温气相传输法制备具有十二边形截面的氧化锌微米棒。将氧化锌微米棒分散在p型氮化镓衬底上形成pn结构器件，然后利用旋涂方法将聚甲基丙烯酸甲酯薄膜沉积在pn结构器件表面，利用反应离子束刻蚀使氧化锌微米棒上表面从聚甲基丙烯酸甲酯薄膜中显露出来，最后采用磁控溅射技术在p型氮化镓表面和氧化锌微米棒表面制备电极，从而形成回音壁模紫外微激光异质结二极管。该方法利用光线在十二边形氧化锌微米棒内的内壁全反射构成高品质的回音壁模微激光，通过选择不同尺寸的氧化锌微米棒可实现不同要求的紫外激光输出波长。
申请日期	2011-12-27
专利号	CN102496852A
专利状态	失效
申请号	CN201110444006.4
公开（公告）号	CN102496852A
IPC 分类号	H01S5/10 \| H01S5/32
专利代理人	柏尚春
代理机构	南京苏高专利商标事务所(普通合伙)
文献类型	专利
条目标识符	http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/92081
专题	半导体激光器专利数据库
作者单位	东南大学
推荐引用方式 GB/T 7714	徐春祥,戴俊,朱刚毅,等. 十二边形氧化锌回音壁模紫外微激光异质结二极管的制备. CN102496852A[P]. 2012-06-13.

条目包含的文件
文件名称/大小	文献类型	版本类型	开放类型	使用许可
CN102496852A.PDF（420KB）	专利		开放获取	CC BY-NC-SA	请求全文