Xi'an Institute of Optics and Precision Mechanics,CAS
| 周期性波导结构半导体光电探测器及制作方法 | |
| 其他题名 | 周期性波导结构半导体光电探测器及制作方法 |
| 成步文 | |
| 2003-07-02 | |
| 专利权人 | 中国科学院半导体研究所 |
| 公开日期 | 2003-07-02 |
| 授权国家 | 中国 |
| 专利类型 | 发明申请 |
| 摘要 | 一种具有周期性波导结构的光电探测器，它包括有：导波区，该导波区可对入射光进行吸收和传播，在导波区上制作周期光栅结构；上限制层，该上限制层生长在导波区之上，该上限制层的折射率小于导波区的折射率；下限制层，该下限制层制作在导波区下，该下限制层的折射率小于导波区的折射率；一衬底，上述结构均制作在该衬底上；在衬底及上限制层上分别制作下电极及上电极。 |
| 其他摘要 | 一种具有周期性波导结构的光电探测器，它包括有：导波区，该导波区可对入射光进行吸收和传播，在导波区上制作周期光栅结构；上限制层，该上限制层生长在导波区之上，该上限制层的折射率小于导波区的折射率；下限制层，该下限制层制作在导波区下，该下限制层的折射率小于导波区的折射率；一衬底，上述结构均制作在该衬底上；在衬底及上限制层上分别制作下电极及上电极。 |
| 申请日期 | 2001-12-20 |
| 专利号 | CN1427486A |
| 专利状态 | 失效 |
| 申请号 | CN01144710.9 |
| 公开（公告）号 | CN1427486A |
| IPC 分类号 | G01J1/02 | H01L31/00 | H01S5/00 |
| 专利代理人 | 汤保平 |
| 代理机构 | 中科专利商标代理有限责任公司 |
| 文献类型 | 专利 |
| 条目标识符 | http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/92004 |
| 专题 | 半导体激光器专利数据库 |
| 作者单位 | 中国科学院半导体研究所 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 成步文. 周期性波导结构半导体光电探测器及制作方法. CN1427486A[P]. 2003-07-02. |
| 条目包含的文件 | ||||||
| 文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
| CN1427486A.PDF（378KB） | 专利 | 开放获取 | CC BY-NC-SA | 请求全文 | ||
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