Xi'an Institute of Optics and Precision Mechanics,CAS
| 模块化原子力显微镜 | |
| 其他题名 | 模块化原子力显微镜 |
| 徐文东; 杨金涛; 吉小明 | |
| 2005-03-02 | |
| 专利权人 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 |
| 公开日期 | 2005-03-02 |
| 授权国家 | 中国 |
| 专利类型 | 发明申请 |
| 摘要 | 一种模块化原子力显微镜，由7个模块组成：第一模块为步近电机；第二模块是四维调整的样品架，固定在步近电机上；第三模块是z向扫描器；第四模块包括微悬臂针尖和聚焦透镜；第五模块是xy向的扫描器；第六模块包括具有调焦透镜的半导体激光器、反射镜、成像透镜和四象限光电探测器；第七模块包括光学显微镜、CCD摄像头和监视器。本发明模块化原子力显微镜的调整和更换方便；利用各模块又很容易搭建不同结构的原子力显微镜；样品具有粗定位的功能。 |
| 其他摘要 | 一种模块化原子力显微镜，由7个模块组成：第一模块为步近电机；第二模块是四维调整的样品架，固定在步近电机上；第三模块是z向扫描器；第四模块包括微悬臂针尖和聚焦透镜；第五模块是xy向的扫描器；第六模块包括具有调焦透镜的半导体激光器、反射镜、成像透镜和四象限光电探测器；第七模块包括光学显微镜、CCD摄像头和监视器。本发明模块化原子力显微镜的调整和更换方便；利用各模块又很容易搭建不同结构的原子力显微镜；样品具有粗定位的功能。 |
| 申请日期 | 2004-09-07 |
| 专利号 | CN1587982A |
| 专利状态 | 失效 |
| 申请号 | CN200410054324.X |
| 公开（公告）号 | CN1587982A |
| IPC 分类号 | G01Q60/24 | G01N13/16 |
| 专利代理人 | 张泽纯 |
| 代理机构 | 上海新天专利代理有限公司 |
| 文献类型 | 专利 |
| 条目标识符 | http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/91903 |
| 专题 | 半导体激光器专利数据库 |
| 作者单位 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 徐文东,杨金涛,吉小明. 模块化原子力显微镜. CN1587982A[P]. 2005-03-02. |
| 条目包含的文件 | ||||||
| 文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
| CN1587982A.PDF（505KB） | 专利 | 开放获取 | CC BY-NC-SA | 请求全文 | ||
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