Xi'an Institute of Optics and Precision Mechanics,CAS
| 高功率激光二极管列阵的微通道冷却封装组件 | |
| 其他题名 | 高功率激光二极管列阵的微通道冷却封装组件 |
| 戴特力 | |
| 1999-02-17 | |
| 专利权人 | 成都华民实业有限责任公司 |
| 公开日期 | 1999-02-17 |
| 授权国家 | 中国 |
| 专利类型 | 发明申请 |
| 摘要 | 本发明与高功率激光二极管列阵有效冷却方式有关。该组件由硅片－玻璃片－硅片粘合而成,13mm×13mm×1mm。硅片内侧有化学蚀刻的200条微通道,二极管条粘附在微通道背面。泵送高压冷却液从中流过,实现冷却。本发明提出更有效的方法,在一次工艺中完成夹心层的粘合。本发明是将硅片,玻璃片,硅片三层材料叠好,放在恒温炉中两电极间实现,用于玻璃与金属(单晶)之间的粘合。 |
| 其他摘要 | 本发明与高功率激光二极管列阵有效冷却方式有关。该组件由硅片－玻璃片－硅片粘合而成,13mm×13mm×1mm。硅片内侧有化学蚀刻的200条微通道,二极管条粘附在微通道背面。泵送高压冷却液从中流过,实现冷却。本发明提出更有效的方法,在一次工艺中完成夹心层的粘合。本发明是将硅片,玻璃片,硅片三层材料叠好,放在恒温炉中两电极间实现,用于玻璃与金属(单晶)之间的粘合。 |
| 申请日期 | 1998-06-26 |
| 专利号 | CN1208274A |
| 专利状态 | 失效 |
| 申请号 | CN98102464.5 |
| 公开（公告）号 | CN1208274A |
| IPC 分类号 | H01S3/042 | H01S5/024 | H01S3/043 |
| 专利代理人 | - |
| 代理机构 | - |
| 文献类型 | 专利 |
| 条目标识符 | http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/91822 |
| 专题 | 半导体激光器专利数据库 |
| 作者单位 | 成都华民实业有限责任公司 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 戴特力. 高功率激光二极管列阵的微通道冷却封装组件. CN1208274A[P]. 1999-02-17. |
| 条目包含的文件 | ||||||
| 文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
| CN1208274A.PDF（281KB） | 专利 | 开放获取 | CC BY-NC-SA | 请求全文 | ||
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