共光路径向剪切数字波面干涉仪

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	共光路径向剪切数字波面干涉仪
其他题名	共光路径向剪切数字波面干涉仪
	何煦; 马军
	2012-06-27
专利权人	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
公开日期	2012-06-27
授权国家	中国
专利类型	发明申请
摘要	一种共光路径向剪切数字波面干涉仪涉及一种光学干涉仪波面检测装置，解决了干涉仪的电控、机械系统复杂，研制成本高，难以保证长光路或测试环境的使用条件，很难达到较高的测试精度的问题。该干涉仪应用新型的共光路剪切干涉光路结构，具体包括：半导体激光器、扩束镜、空间滤波器、准直镜、剪切比控制镜、成像系统；该干涉仪还包括：第一偏振片、第二偏振片和胶合棱镜。本发明采用同轴共光路形式，使共光路干涉系统具有对振动、温度和气流的变化能产生彼此共模抑制的优点，可以在隔振条件和恒温条件较低时也能获得稳定的干涉条纹。因此具有抗干扰特性的数字波面共光路径向剪切干涉光路较为适合于长光路条件下光学系统波像差的实时检测与监控。
其他摘要	一种共光路径向剪切数字波面干涉仪涉及一种光学干涉仪波面检测装置，解决了干涉仪的电控、机械系统复杂，研制成本高，难以保证长光路或测试环境的使用条件，很难达到较高的测试精度的问题。该干涉仪应用新型的共光路剪切干涉光路结构，具体包括：半导体激光器、扩束镜、空间滤波器、准直镜、剪切比控制镜、成像系统；该干涉仪还包括：第一偏振片、第二偏振片和胶合棱镜。本发明采用同轴共光路形式，使共光路干涉系统具有对振动、温度和气流的变化能产生彼此共模抑制的优点，可以在隔振条件和恒温条件较低时也能获得稳定的干涉条纹。因此具有抗干扰特性的数字波面共光路径向剪切干涉光路较为适合于长光路条件下光学系统波像差的实时检测与监控。
申请日期	2011-12-26
专利号	CN102519611A
专利状态	失效
申请号	CN201110440141
公开（公告）号	CN102519611A
IPC 分类号	G01J9/02 \| G02B27/28
专利代理人	张伟
代理机构	长春菁华专利商标代理事务所
文献类型	专利
条目标识符	http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/91626
专题	半导体激光器专利数据库
作者单位	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
推荐引用方式 GB/T 7714	何煦,马军. 共光路径向剪切数字波面干涉仪. CN102519611A[P]. 2012-06-27.

条目包含的文件
文件名称/大小	文献类型	版本类型	开放类型	使用许可
CN102519611A.PDF（539KB）	专利		开放获取	CC BY-NC-SA	请求全文