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基于正交双偏振光的滚转角光电检测方法及装置
其他题名基于正交双偏振光的滚转角光电检测方法及装置
章恩耀; 陈蕾; 孙利群; 田芊
2003-02-12
专利权人清华大学
公开日期2003-02-12
授权国家中国
专利类型发明申请
摘要基于正交双偏振光的滚转角光电检测方法及装置,属于光电检测技术领域。本发明利用相位差180°的两列方波,分别调制光路中的两个半导体激光器或者分别调制光路中两个偏振方向正交的液晶光阀,产生两束分时交替的正交偏振光,使发射端输出交替工作的正交双偏振平行光;经过检偏器后产生光强差值,通过检测该差值得到滚转角的值。本发明与现有技术相比,光路结构简单,无较多复杂反馈电路,在保证测量精度的前提下,有效降低了生产成本;同时实现了x-y准直度的测量控制,节省了测量的时间,实现了并行实时测量,为进一步提高测量精度提供了条件。可广泛用于大型工件安装时的滚转角和准直度测量以及运动物的直线度和滚转角的自动跟踪系统。
其他摘要基于正交双偏振光的滚转角光电检测方法及装置,属于光电检测技术领域。本发明利用相位差180°的两列方波,分别调制光路中的两个半导体激光器或者分别调制光路中两个偏振方向正交的液晶光阀,产生两束分时交替的正交偏振光,使发射端输出交替工作的正交双偏振平行光;经过检偏器后产生光强差值,通过检测该差值得到滚转角的值。本发明与现有技术相比,光路结构简单,无较多复杂反馈电路,在保证测量精度的前提下,有效降低了生产成本;同时实现了x-y准直度的测量控制,节省了测量的时间,实现了并行实时测量,为进一步提高测量精度提供了条件。可广泛用于大型工件安装时的滚转角和准直度测量以及运动物的直线度和滚转角的自动跟踪系统。
申请日期2002-07-05
专利号CN1396435A
专利状态失效
申请号CN02123642.9
公开(公告)号CN1396435A
IPC 分类号G01B9/02 | G01B11/26 | H01S3/00
专利代理人-
代理机构-
文献类型专利
条目标识符http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/91603
专题半导体激光器专利数据库
作者单位清华大学
推荐引用方式
GB/T 7714
章恩耀,陈蕾,孙利群,等. 基于正交双偏振光的滚转角光电检测方法及装置. CN1396435A[P]. 2003-02-12.
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CN1396435A.PDF(696KB)专利 开放获取CC BY-NC-SA请求全文
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