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氮化物半导体芯片及其制造方法以及半导体器件
其他题名氮化物半导体芯片及其制造方法以及半导体器件
神川刚; 太田征孝
2011-01-12
专利权人夏普株式会社
公开日期2011-01-12
授权国家中国
专利类型发明申请
摘要本发明提供一种氮化物半导体芯片及其制造方法以及半导体器件。该氮化物半导体芯片由于改善的EL发射图案和改善的表面形态(平坦度)而提供增加的发光效能和提高的良率。该氮化物半导体激光器芯片(氮化物半导体芯片)包括:GaN基板,具有主生长面;以及形成在GaN基板的主生长面上的各氮化物半导体层。主生长面是相对于m面在a轴方向上具有偏角的面,并且各氮化物半导体层包括AlGaN下覆层。该下覆层形成为接触GaN基板的主生长面。
其他摘要本发明提供一种氮化物半导体芯片及其制造方法以及半导体器件。该氮化物半导体芯片由于改善的EL发射图案和改善的表面形态(平坦度)而提供增加的发光效能和提高的良率。该氮化物半导体激光器芯片(氮化物半导体芯片)包括:GaN基板,具有主生长面;以及形成在GaN基板的主生长面上的各氮化物半导体层。主生长面是相对于m面在a轴方向上具有偏角的面,并且各氮化物半导体层包括AlGaN下覆层。该下覆层形成为接触GaN基板的主生长面。
申请日期2010-07-02
专利号CN101944480A
专利状态失效
申请号CN201010221979.7
公开(公告)号CN101944480A
IPC 分类号H01L21/205 | H01S5/343
专利代理人彭久云
代理机构北京市柳沈律师事务所
文献类型专利
条目标识符http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/91584
专题半导体激光器专利数据库
作者单位夏普株式会社
推荐引用方式
GB/T 7714
神川刚,太田征孝. 氮化物半导体芯片及其制造方法以及半导体器件. CN101944480A[P]. 2011-01-12.
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