一种基于光散射的光学薄膜LIDT测试装置与测试方法

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	一种基于光散射的光学薄膜LIDT测试装置与测试方法
其他题名	一种基于光散射的光学薄膜LIDT测试装置与测试方法
	王青; 齐思璐; 孟令强; 杨援
	2017-10-20
专利权人	南京理工大学
公开日期	2017-10-20
授权国家	中国
专利类型	发明申请
摘要	本发明公开了一种基于光散射的光学薄膜LIDT测试装置，包括共光轴依次设置脉冲激光器、半波片、格兰‑泰勒棱镜、会聚透镜和待测样品，其所在的光轴为脉冲击打光轴；还包括构成共光轴测试光路的半导体激光器、扩束镜和孔径光阑，其所在的光轴为测试光轴，测试光轴与脉冲击打光轴存在夹角α，半导体激光器发出测试光，经扩束镜和孔径光阑后，射到待测样品前表面，经待测样品前表面散射，被CCD探测器接收；脉冲激光器发出的脉冲激光经半波片至格兰‑泰勒棱镜，经格兰‑泰勒棱镜反射和透射，透射光经会聚透镜会聚至待测样品。本发明更加稳定和高效，且适合在光学工厂中使用和搭建，成本低廉，操作简便。
其他摘要	本发明公开了一种基于光散射的光学薄膜LIDT测试装置，包括共光轴依次设置脉冲激光器、半波片、格兰‑泰勒棱镜、会聚透镜和待测样品，其所在的光轴为脉冲击打光轴；还包括构成共光轴测试光路的半导体激光器、扩束镜和孔径光阑，其所在的光轴为测试光轴，测试光轴与脉冲击打光轴存在夹角α，半导体激光器发出测试光，经扩束镜和孔径光阑后，射到待测样品前表面，经待测样品前表面散射，被CCD探测器接收；脉冲激光器发出的脉冲激光经半波片至格兰‑泰勒棱镜，经格兰‑泰勒棱镜反射和透射，透射光经会聚透镜会聚至待测样品。本发明更加稳定和高效，且适合在光学工厂中使用和搭建，成本低廉，操作简便。
申请日期	2016-04-07
专利号	CN107271403A
专利状态	申请中
申请号	CN201610213507.4
公开（公告）号	CN107271403A
IPC 分类号	G01N21/47 \| G01M11/02
专利代理人	朱沉雁
代理机构	南京理工大学专利中心
文献类型	专利
条目标识符	http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/91559
专题	半导体激光器专利数据库
作者单位	南京理工大学
推荐引用方式 GB/T 7714	王青,齐思璐,孟令强,等. 一种基于光散射的光学薄膜LIDT测试装置与测试方法. CN107271403A[P]. 2017-10-20.

条目包含的文件
文件名称/大小	文献类型	版本类型	开放类型	使用许可
CN107271403A.PDF（139KB）	专利		开放获取	CC BY-NC-SA	请求全文