Method of fabrication of a micro-optics device with curved surface defects

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	Method of fabrication of a micro-optics device with curved surface defects
其他题名	Method of fabrication of a micro-optics device with curved surface defects
	ARMIN W KNOLL; URS T DUERIG; FEI DING; THILO HERMANN STOEFERLE; RAINER F MAHRT
	2013-10-02
专利权人	INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION
公开日期	2013-10-02
授权国家	英国
专利类型	发明申请
摘要	A method of making a micro-optics device, such as a vertical cavity surface emitting laser (VCSEL), comprising providing a layer 300 of material, patterning said layer 300 to form a curved defect 20 which may be Gaussian or parabolic in one or more planes parallel to the vertical axis, and providing at least another layer or material in contact with the curved surface 20. The additional layers may form a distributed Bragg reflector (DBR). The patterning uses nano-lithographic techniques based on scanning probe microscopy (SPM), using a nano-scale tipped probe 50 to desorb the surface molecules, which may be non-covalently or hydrogenically bonded, or unzipping (depolymerising) polymer chains. The method serves to provide lateral photon confinement, increase the quality (Q) factor of the microcavity and reduce the mode volume.
其他摘要	一种制造微光学器件的方法，例如垂直腔表面发射激光器（VCSEL），包括提供材料层300，图案化所述层300以形成弯曲缺陷20，其在一个或多个中可以是高斯或抛物线的平行于垂直轴的平面，并提供与弯曲表面20接触的至少另一层或材料。附加层可形成分布式布拉格反射器（DBR）。图案化使用基于扫描探针显微镜（SPM）的纳米光刻技术，使用纳米级尖端探针50来解吸表面分子，所述表面分子可以是非共价或氢键结合的，或解链（解聚）聚合物链。该方法用于提供横向光子限制，增加微腔的质量（Q）因子并减小模式体积。
申请日期	2012-03-29
专利号	GB2500670A
专利状态	失效
申请号	GB2012005552
公开（公告）号	GB2500670A
IPC 分类号	H01S5/20 \| H01S5/183
专利代理人	-
代理机构	IBM UNITED KINGDOM LIMITED
文献类型	专利
条目标识符	http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/91486
专题	半导体激光器专利数据库
作者单位	INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION
推荐引用方式 GB/T 7714	ARMIN W KNOLL,URS T DUERIG,FEI DING,et al. Method of fabrication of a micro-optics device with curved surface defects. GB2500670A[P]. 2013-10-02.

条目包含的文件
文件名称/大小	文献类型	版本类型	开放类型	使用许可
GB2500670A.PDF（2589KB）	专利		开放获取	CC BY-NC-SA	请求全文