一种内腔增强型光声光谱式痕量气体传感器装置

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	一种内腔增强型光声光谱式痕量气体传感器装置
其他题名	一种内腔增强型光声光谱式痕量气体传感器装置
	马欲飞; 何应; 于欣; 李旭东; 彭江波; 杨超博; 闫仁鹏; 樊荣伟; 董志伟; 佟瑶; 陈德应
	2017-10-20
专利权人	哈尔滨工业大学
公开日期	2017-10-20
授权国家	中国
专利类型	发明申请
摘要	本发明实施例涉及激光检测技术领域，尤其涉及一种内腔增强光声光谱式痕量气体传感器装置，所述装置包括沿光束传播方向依次设置的半导体激光器、斩波器、激光准直聚焦系统、前腔镜、可调谐滤波器、激光增益介质、石英音叉、后腔镜；所述石英音叉产生的压电信号经阻抗放大器放大后传输至控制与数据采集系统，所述控制与数据采集系统用于检测石英音叉的共振频率，并且实时控制所述斩波器，使之调制的频率f始终为石英音叉的共振频率f0；计算机连接所述控制与数据采集系统，通过上位机软件Labview进行实时控制。本装置能够快速检测出大气环境中存在多种痕量气体。
其他摘要	本发明实施例涉及激光检测技术领域，尤其涉及一种内腔增强光声光谱式痕量气体传感器装置，所述装置包括沿光束传播方向依次设置的半导体激光器、斩波器、激光准直聚焦系统、前腔镜、可调谐滤波器、激光增益介质、石英音叉、后腔镜；所述石英音叉产生的压电信号经阻抗放大器放大后传输至控制与数据采集系统，所述控制与数据采集系统用于检测石英音叉的共振频率，并且实时控制所述斩波器，使之调制的频率f始终为石英音叉的共振频率f0；计算机连接所述控制与数据采集系统，通过上位机软件Labview进行实时控制。本装置能够快速检测出大气环境中存在多种痕量气体。
申请日期	2017-05-23
专利号	CN107271368A
专利状态	失效
申请号	CN201710369282.6
公开（公告）号	CN107271368A
IPC 分类号	G01N21/17 \| G01N21/01
专利代理人	巴晓艳
代理机构	北京金智普华知识产权代理有限公司
文献类型	专利
条目标识符	http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/91479
专题	半导体激光器专利数据库
作者单位	哈尔滨工业大学
推荐引用方式 GB/T 7714	马欲飞,何应,于欣,等. 一种内腔增强型光声光谱式痕量气体传感器装置. CN107271368A[P]. 2017-10-20.

条目包含的文件
文件名称/大小	文献类型	版本类型	开放类型	使用许可
CN107271368A.PDF（161KB）	专利		开放获取	CC BY-NC-SA	请求全文