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垂直腔面发射激光器列阵的并行光发射模块及制作方法
其他题名垂直腔面发射激光器列阵的并行光发射模块及制作方法
陈弘达; 申荣铉; 毛陆虹; 唐君; 裴为华; 高鹏; 崔增文
2004-09-22
专利权人中国科学院半导体研究所
公开日期2004-09-22
授权国家中国
专利类型发明申请
摘要本发明一种垂直腔面发射激光器列阵的并行光发射模块,其中包括:一高频印制电路板,在该高频印制电路板的一端形成有一信号输入端口,该信号输入端口采用镀金的插板结构;一垂直腔面发射激光器列阵,该垂直腔面发射激光器列阵以裸片的形式直接集成在一硅片底座上,再用粘接的方式粘接在高频印制电路板上面;一驱动电路芯片,该驱动电路芯片以裸片的形式直接集成在高频印制电路板上面;该垂直腔面发射激光器列阵与驱动电路芯片用金丝连接,该驱动电路芯片与高频印制电路板用金丝连接,构成并行光发射模块。
其他摘要本发明一种垂直腔面发射激光器列阵的并行光发射模块,其中包括:一高频印制电路板,在该高频印制电路板的一端形成有一信号输入端口,该信号输入端口采用镀金的插板结构;一垂直腔面发射激光器列阵,该垂直腔面发射激光器列阵以裸片的形式直接集成在一硅片底座上,再用粘接的方式粘接在高频印制电路板上面;一驱动电路芯片,该驱动电路芯片以裸片的形式直接集成在高频印制电路板上面;该垂直腔面发射激光器列阵与驱动电路芯片用金丝连接,该驱动电路芯片与高频印制电路板用金丝连接,构成并行光发射模块。
申请日期2003-03-14
专利号CN1530681A
专利状态失效
申请号CN03120596.8
公开(公告)号CN1530681A
IPC 分类号G02B6/12 | G02B6/42 | H01S3/00 | H04B10/50 | H04B10/12
专利代理人汤保平
代理机构中科专利商标代理有限责任公司
文献类型专利
条目标识符http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/91464
专题半导体激光器专利数据库
作者单位中国科学院半导体研究所
推荐引用方式
GB/T 7714
陈弘达,申荣铉,毛陆虹,等. 垂直腔面发射激光器列阵的并行光发射模块及制作方法. CN1530681A[P]. 2004-09-22.
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