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采用PSD的光电倾角测量装置
其他题名采用PSD的光电倾角测量装置
曹国华; 徐洪吉; 王志胜; 姜涛; 苏成志; 于正林
2007-11-21
专利权人长春理工大学
公开日期2007-11-21
授权国家中国
专利类型发明申请
摘要采用PSD的光电倾角测量装置是一种采用PSD(位置敏感探测器)和半导体激光测量倾角的装置,属于光电检测技术领域。现有所谓摆式电容倾角传感器由于其结构所限以及角度计算过程中的近似处理和电容边缘的非线性,其测量范围被限定在±5°之间;由于电容的充放电时间长决定了该传感器响应速度慢,不适合动态在线检测;再有就是其测量精度较低。而本发明将分光折转镜组作为固体摆,同时采用PSD作为检测器件,以半导体激光作为检测光源,利用PSD的位置探测功能,最终实现了较大范围在线精确测量倾角。作为一种光电检测装置与计算机技术结合可用于倾角的动态高精度检测。
其他摘要采用PSD的光电倾角测量装置是一种采用PSD(位置敏感探测器)和半导体激光测量倾角的装置,属于光电检测技术领域。现有所谓摆式电容倾角传感器由于其结构所限以及角度计算过程中的近似处理和电容边缘的非线性,其测量范围被限定在±5°之间;由于电容的充放电时间长决定了该传感器响应速度慢,不适合动态在线检测;再有就是其测量精度较低。而本发明将分光折转镜组作为固体摆,同时采用PSD作为检测器件,以半导体激光作为检测光源,利用PSD的位置探测功能,最终实现了较大范围在线精确测量倾角。作为一种光电检测装置与计算机技术结合可用于倾角的动态高精度检测。
申请日期2007-07-19
专利号CN101074871A
专利状态失效
申请号CN200710130708.9
公开(公告)号CN101074871A
IPC 分类号G01B11/26
专利代理人曲博
代理机构中国兵器工业集团公司专利中心
文献类型专利
条目标识符http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/90961
专题半导体激光器专利数据库
作者单位长春理工大学
推荐引用方式
GB/T 7714
曹国华,徐洪吉,王志胜,等. 采用PSD的光电倾角测量装置. CN101074871A[P]. 2007-11-21.
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CN101074871A.PDF(297KB)专利 开放获取CC BY-NC-SA请求全文
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