Xi'an Institute of Optics and Precision Mechanics,CAS
太赫兹量子级联半导体激光器材料及其生长方法 | |
其他题名 | 太赫兹量子级联半导体激光器材料及其生长方法 |
李路; 刘峰奇; 刘俊岐; 邵烨; 王占国 | |
2008-02-20 | |
专利权人 | 中国科学院半导体研究所 |
公开日期 | 2008-02-20 |
授权国家 | 中国 |
专利类型 | 发明申请 |
摘要 | 一种太赫兹量子级联半导体激光器材料的生长方法,其特征在于,包括如下生长步骤:步骤1:取一半绝缘砷化镓衬底;步骤2:利用分子束外延技术在半绝缘砷化镓衬底上生长N型砷化镓下欧姆接触层,用来制作下欧姆电极;步骤3:在下欧姆接触层上生长有源区,作为发光区;步骤4:在有源区上生长N型砷化镓上欧姆接触层,用来制作下欧姆电极,完成太赫兹量子级联半导体激光器材料的生长。 |
其他摘要 | 一种太赫兹量子级联半导体激光器材料的生长方法,其特征在于,包括如下生长步骤:步骤1:取一半绝缘砷化镓衬底;步骤2:利用分子束外延技术在半绝缘砷化镓衬底上生长N型砷化镓下欧姆接触层,用来制作下欧姆电极;步骤3:在下欧姆接触层上生长有源区,作为发光区;步骤4:在有源区上生长N型砷化镓上欧姆接触层,用来制作下欧姆电极,完成太赫兹量子级联半导体激光器材料的生长。 |
申请日期 | 2006-08-16 |
专利号 | CN101127432A |
专利状态 | 失效 |
申请号 | CN200610112407.9 |
公开(公告)号 | CN101127432A |
IPC 分类号 | H01S5/00 | H01S5/34 | H01S5/343 | H01L21/20 | C23C16/00 |
专利代理人 | 汤保平 |
代理机构 | 中科专利商标代理有限责任公司 |
文献类型 | 专利 |
条目标识符 | http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/90838 |
专题 | 半导体激光器专利数据库 |
作者单位 | 中国科学院半导体研究所 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 李路,刘峰奇,刘俊岐,等. 太赫兹量子级联半导体激光器材料及其生长方法. CN101127432A[P]. 2008-02-20. |
条目包含的文件 | ||||||
文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
CN101127432A.PDF(979KB) | 专利 | 开放获取 | CC BY-NC-SA | 请求全文 |
个性服务 |
推荐该条目 |
保存到收藏夹 |
查看访问统计 |
导出为Endnote文件 |
谷歌学术 |
谷歌学术中相似的文章 |
[李路]的文章 |
[刘峰奇]的文章 |
[刘俊岐]的文章 |
百度学术 |
百度学术中相似的文章 |
[李路]的文章 |
[刘峰奇]的文章 |
[刘俊岐]的文章 |
必应学术 |
必应学术中相似的文章 |
[李路]的文章 |
[刘峰奇]的文章 |
[刘俊岐]的文章 |
相关权益政策 |
暂无数据 |
收藏/分享 |
除非特别说明,本系统中所有内容都受版权保护,并保留所有权利。
修改评论