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太赫兹量子级联半导体激光器材料及其生长方法
其他题名太赫兹量子级联半导体激光器材料及其生长方法
李路; 刘峰奇; 刘俊岐; 邵烨; 王占国
2008-02-20
专利权人中国科学院半导体研究所
公开日期2008-02-20
授权国家中国
专利类型发明申请
摘要一种太赫兹量子级联半导体激光器材料的生长方法,其特征在于,包括如下生长步骤:步骤1:取一半绝缘砷化镓衬底;步骤2:利用分子束外延技术在半绝缘砷化镓衬底上生长N型砷化镓下欧姆接触层,用来制作下欧姆电极;步骤3:在下欧姆接触层上生长有源区,作为发光区;步骤4:在有源区上生长N型砷化镓上欧姆接触层,用来制作下欧姆电极,完成太赫兹量子级联半导体激光器材料的生长。
其他摘要一种太赫兹量子级联半导体激光器材料的生长方法,其特征在于,包括如下生长步骤:步骤1:取一半绝缘砷化镓衬底;步骤2:利用分子束外延技术在半绝缘砷化镓衬底上生长N型砷化镓下欧姆接触层,用来制作下欧姆电极;步骤3:在下欧姆接触层上生长有源区,作为发光区;步骤4:在有源区上生长N型砷化镓上欧姆接触层,用来制作下欧姆电极,完成太赫兹量子级联半导体激光器材料的生长。
申请日期2006-08-16
专利号CN101127432A
专利状态失效
申请号CN200610112407.9
公开(公告)号CN101127432A
IPC 分类号H01S5/00 | H01S5/34 | H01S5/343 | H01L21/20 | C23C16/00
专利代理人汤保平
代理机构中科专利商标代理有限责任公司
文献类型专利
条目标识符http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/90838
专题半导体激光器专利数据库
作者单位中国科学院半导体研究所
推荐引用方式
GB/T 7714
李路,刘峰奇,刘俊岐,等. 太赫兹量子级联半导体激光器材料及其生长方法. CN101127432A[P]. 2008-02-20.
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