Xi'an Institute of Optics and Precision Mechanics,CAS
| 导电性半导体衬底上的电极焊盘 | |
| 其他题名 | 导电性半导体衬底上的电极焊盘 |
| 赤毛勇一; 深野秀树; 山中孝之; 斋藤正 | |
| 2006-11-08 | |
| 专利权人 | 日本电信电话株式会社 |
| 公开日期 | 2006-11-08 |
| 授权国家 | 中国 |
| 专利类型 | 发明申请 |
| 摘要 | 本发明提供一种减小电极焊盘部分的电容，同时对于实用性的电极焊盘尺寸能够进行特性阻抗的控制的半导体衬底上的电极焊盘。在n－InP衬底1上，形成将n－InP包层2、i层3、p－InP包层与p型接触层4叠层而成的台面条纹型的光波导，在n－InP衬底1上形成在光波导的附近具有台面状淀积部8c的绝缘性材料膜8，将向光波导供给电信号的电极金属11a和布线金属11b、11c分别配置在光波导和绝缘性材料膜8之上，同时将电极焊盘10配置在台面状淀积部8c的上面，使得n－InP衬底1与电极焊盘10具有规定的间隔t1 (大约17～29μm)。 |
| 其他摘要 | 本发明提供一种减小电极焊盘部分的电容，同时对于实用性的电极焊盘尺寸能够进行特性阻抗的控制的半导体衬底上的电极焊盘。在n－InP衬底1上，形成将n－InP包层2、i层3、p－InP包层与p型接触层4叠层而成的台面条纹型的光波导，在n－InP衬底1上形成在光波导的附近具有台面状淀积部8c的绝缘性材料膜8，将向光波导供给电信号的电极金属11a和布线金属11b、11c分别配置在光波导和绝缘性材料膜8之上，同时将电极焊盘10配置在台面状淀积部8c的上面，使得n－InP衬底1与电极焊盘10具有规定的间隔t1 (大约17～29μm)。 |
| 申请日期 | 2005-05-18 |
| 专利号 | CN1860598A |
| 专利状态 | 授权 |
| 申请号 | CN200580001196.5 |
| 公开（公告）号 | CN1860598A |
| IPC 分类号 | H01L21/3205 | G02B6/12 | G02B6/122 | G02B6/13 | G02F1/017 | H01L21/60 | H01L27/14 | H01S5/042 |
| 专利代理人 | 李峥 | 杨光军 |
| 代理机构 | 北京市中咨律师事务所 |
| 文献类型 | 专利 |
| 条目标识符 | http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/90791 |
| 专题 | 半导体激光器专利数据库 |
| 作者单位 | 日本电信电话株式会社 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 赤毛勇一,深野秀树,山中孝之,等. 导电性半导体衬底上的电极焊盘. CN1860598A[P]. 2006-11-08. |
| 条目包含的文件 | ||||||
| 文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
| CN1860598A.PDF（1810KB） | 专利 | 开放获取 | CC BY-NC-SA | 请求全文 | ||
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