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光半导体装置、其制造方法以及光模块的制造方法
其他题名光半导体装置、其制造方法以及光模块的制造方法
东祐介; 石村荣太郎; 柴田公隆
2015-04-29
专利权人三菱电机株式会社
公开日期2015-04-29
授权国家中国
专利类型发明申请
摘要本发明得到一种能够简单地测定窗构造的长度的光半导体装置、光半导体装置的制造方法、以及光模块的制造方法。在共振器端面(2)和光波导(3)之间形成有窗构造(4)。游标部(5)设置在窗构造(4)上。该游标部(5)能够对沿着光轴方向的窗构造(4)的长度进行测定。通过从顶面观察游标部(5),数出光轴方向的槽(6)的数量,从而能够容易地测定窗构造(4)的长度L。
其他摘要本发明得到一种能够简单地测定窗构造的长度的光半导体装置、光半导体装置的制造方法、以及光模块的制造方法。在共振器端面(2)和光波导(3)之间形成有窗构造(4)。游标部(5)设置在窗构造(4)上。该游标部(5)能够对沿着光轴方向的窗构造(4)的长度进行测定。通过从顶面观察游标部(5),数出光轴方向的槽(6)的数量,从而能够容易地测定窗构造(4)的长度L。
申请日期2014-10-16
专利号CN104577710A
专利状态失效
申请号CN201410549270.8
公开(公告)号CN104577710A
IPC 分类号H01S5/16 | H01S5/00
专利代理人何立波 | 张天舒
代理机构北京天昊联合知识产权代理有限公司
文献类型专利
条目标识符http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/90789
专题半导体激光器专利数据库
作者单位三菱电机株式会社
推荐引用方式
GB/T 7714
东祐介,石村荣太郎,柴田公隆. 光半导体装置、其制造方法以及光模块的制造方法. CN104577710A[P]. 2015-04-29.
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