Xi'an Institute of Optics and Precision Mechanics,CAS
| 单纵模且波长可调谐的多段式FP激光器 | |
| 其他题名 | 单纵模且波长可调谐的多段式FP激光器 |
| 潘碧玮; 赵玲娟; 陆丹; 张莉萌 | |
| 2016-03-23 | |
| 专利权人 | 中国科学院半导体研究所 |
| 公开日期 | 2016-03-23 |
| 授权国家 | 中国 |
| 专利类型 | 发明申请 |
| 摘要 | 一种单纵模且波长可调谐的多段式FP激光器，包括：衬底和沿着所述衬底外延方向依次制作的外延层，其中在所述外延层的部分区域从p型盖层向下刻蚀至p型接触层下表面，形成一中间高、两边低的脊型波导结构，所述脊型波导中的p型接触层上形成有一隔离沟；TiAu电极制作于所述脊型波导上方，覆盖整个凸起的脊型波导，该TiAu电极在所述隔离沟处整体断开，分为两段电极。本发明的多段式FP激光器采用复合腔选模机制，无需光栅制作就可实现单纵模且波长可调谐的激光输出，降低了工艺的复杂性，同时保证了成品率和出光功率。 |
| 其他摘要 | 一种单纵模且波长可调谐的多段式FP激光器，包括：衬底和沿着所述衬底外延方向依次制作的外延层，其中在所述外延层的部分区域从p型盖层向下刻蚀至p型接触层下表面，形成一中间高、两边低的脊型波导结构，所述脊型波导中的p型接触层上形成有一隔离沟；TiAu电极制作于所述脊型波导上方，覆盖整个凸起的脊型波导，该TiAu电极在所述隔离沟处整体断开，分为两段电极。本发明的多段式FP激光器采用复合腔选模机制，无需光栅制作就可实现单纵模且波长可调谐的激光输出，降低了工艺的复杂性，同时保证了成品率和出光功率。 |
| 申请日期 | 2015-12-30 |
| 专利号 | CN105428997A |
| 专利状态 | 申请中 |
| 申请号 | CN201511019962.2 |
| 公开（公告）号 | CN105428997A |
| IPC 分类号 | H01S5/06 | H01S5/343 | H01S5/22 |
| 专利代理人 | 宋焰琴 |
| 代理机构 | 中科专利商标代理有限责任公司 |
| 文献类型 | 专利 |
| 条目标识符 | http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/90693 |
| 专题 | 半导体激光器专利数据库 |
| 作者单位 | 中国科学院半导体研究所 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 潘碧玮,赵玲娟,陆丹,等. 单纵模且波长可调谐的多段式FP激光器. CN105428997A[P]. 2016-03-23. |
| 条目包含的文件 | ||||||
| 文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
| CN105428997A.PDF（456KB） | 专利 | 开放获取 | CC BY-NC-SA | 请求全文 | ||
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