Xi'an Institute of Optics and Precision Mechanics,CAS
一种基于张应变Ge纳米线的有源区结构及激光器 | |
其他题名 | 一种基于张应变Ge纳米线的有源区结构及激光器 |
朱忠赟珅; 宋禹忻; 李耀耀; 韩奕; 张振普; 张立瑶; 王庶民 | |
2017-08-11 | |
专利权人 | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 |
公开日期 | 2017-08-11 |
授权国家 | 中国 |
专利类型 | 发明申请 |
摘要 | 本发明提供了一种基于张应变Ge纳米线的有源区结构及激光器,该有源区结构包括第一势垒层、Ge纳米线和第二势垒层,所述Ge纳米线位于所述第一势垒层和所述第二势垒层之间。本发明通过将现有的CMOS工艺相兼容Ge材料转化为直接带隙,克服了硅不能直接带隙以及III‑V族发光器件与现有的CMOS工艺不兼容的问题,同时也有利于单片集成,降低成本,促进光通信行业的良性发展。 |
其他摘要 | 本发明提供了一种基于张应变Ge纳米线的有源区结构及激光器,该有源区结构包括第一势垒层、Ge纳米线和第二势垒层,所述Ge纳米线位于所述第一势垒层和所述第二势垒层之间。本发明通过将现有的CMOS工艺相兼容Ge材料转化为直接带隙,克服了硅不能直接带隙以及III‑V族发光器件与现有的CMOS工艺不兼容的问题,同时也有利于单片集成,降低成本,促进光通信行业的良性发展。 |
申请日期 | 2017-05-03 |
专利号 | CN107039884A |
专利状态 | 授权 |
申请号 | CN201710304793.X |
公开(公告)号 | CN107039884A |
IPC 分类号 | H01S5/34 |
专利代理人 | 邓琪 |
代理机构 | 上海智信专利代理有限公司 |
文献类型 | 专利 |
条目标识符 | http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/90662 |
专题 | 半导体激光器专利数据库 |
作者单位 | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 朱忠赟珅,宋禹忻,李耀耀,等. 一种基于张应变Ge纳米线的有源区结构及激光器. CN107039884A[P]. 2017-08-11. |
条目包含的文件 | ||||||
文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
CN107039884A.PDF(491KB) | 专利 | 开放获取 | CC BY-NC-SA | 请求全文 |
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