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一种集成激光器及其制备方法
其他题名一种集成激光器及其制备方法
赵勇明; 孙玉润; 于淑珍; 何洋; 宋焱; 董建荣
2017-07-07
专利权人中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
公开日期2017-07-07
授权国家中国
专利类型发明申请
摘要本发明公开了一种集成激光器,包括光电探测器和面发射激光器,所述光电探测器与所述面发射激光器共用一衬底。本发明还提供这种集成激光器的制备方法,用于将光电探测器和面发射激光器集成为一体。本发明将面发射激光器与光电探测器通过半导体制造工艺方法实现单片集成,有利于实现探测系统的微型化,提高了器件的集成度。
其他摘要本发明公开了一种集成激光器,包括光电探测器和面发射激光器,所述光电探测器与所述面发射激光器共用一衬底。本发明还提供这种集成激光器的制备方法,用于将光电探测器和面发射激光器集成为一体。本发明将面发射激光器与光电探测器通过半导体制造工艺方法实现单片集成,有利于实现探测系统的微型化,提高了器件的集成度。
申请日期2015-12-30
专利号CN106936068A
专利状态申请中
申请号CN201511022303.4
公开(公告)号CN106936068A
IPC 分类号H01S5/026 | H01S5/183
专利代理人孙伟峰 | 侯艺
代理机构深圳市铭粤知识产权代理有限公司
文献类型专利
条目标识符http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/90647
专题半导体激光器专利数据库
作者单位中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
推荐引用方式
GB/T 7714
赵勇明,孙玉润,于淑珍,等. 一种集成激光器及其制备方法. CN106936068A[P]. 2017-07-07.
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