一种脊波导激光器电极接触窗口的制作方法

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	一种脊波导激光器电极接触窗口的制作方法
其他题名	一种脊波导激光器电极接触窗口的制作方法
	方瑞禹; 郝润豹; 丁凯文
	2017-10-17
专利权人	青岛海信宽带多媒体技术有限公司
公开日期	2017-10-17
授权国家	中国
专利类型	发明申请
摘要	本发明公开了一种脊波导激光器电极接触窗口的制作方法，用以降低脊波导激光器电极接触窗口制作成本，该方法包括：对晶元上沉积的波导层进行刻蚀，形成脊波导结构以及脊波导结构两侧的结构；在脊波导结构和脊波导结构两侧的结构表面沉积电介质层；在电介质层的表面涂覆光刻胶；利用掩膜板对光刻胶进行光刻，将电介质层表面上覆盖脊波导结构的光刻胶去除；对电介质层表面未去除的光刻胶进行热处理，令未去除的光刻胶在发生形变；以光刻胶为掩膜对电介质层进行刻蚀，将覆盖在脊波导结构表面的电介质去除，形成电极接触窗口，使得利用低精度的光刻设备便能完成脊波导激光器电极接触窗口的制作，降低了成本。
其他摘要	本发明公开了一种脊波导激光器电极接触窗口的制作方法，用以降低脊波导激光器电极接触窗口制作成本，该方法包括：对晶元上沉积的波导层进行刻蚀，形成脊波导结构以及脊波导结构两侧的结构；在脊波导结构和脊波导结构两侧的结构表面沉积电介质层；在电介质层的表面涂覆光刻胶；利用掩膜板对光刻胶进行光刻，将电介质层表面上覆盖脊波导结构的光刻胶去除；对电介质层表面未去除的光刻胶进行热处理，令未去除的光刻胶在发生形变；以光刻胶为掩膜对电介质层进行刻蚀，将覆盖在脊波导结构表面的电介质去除，形成电极接触窗口，使得利用低精度的光刻设备便能完成脊波导激光器电极接触窗口的制作，降低了成本。
申请日期	2017-07-05
专利号	CN107257082A
专利状态	申请中
申请号	CN201710542559.0
公开（公告）号	CN107257082A
IPC 分类号	H01S5/042 \| H01S5/22 \| G03F7/42
专利代理人	黄志华
代理机构	北京同达信恒知识产权代理有限公司
文献类型	专利
条目标识符	http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/90589
专题	半导体激光器专利数据库
作者单位	青岛海信宽带多媒体技术有限公司
推荐引用方式 GB/T 7714	方瑞禹,郝润豹,丁凯文. 一种脊波导激光器电极接触窗口的制作方法. CN107257082A[P]. 2017-10-17.

条目包含的文件
文件名称/大小	文献类型	版本类型	开放类型	使用许可
CN107257082A.PDF（811KB）	专利		开放获取	CC BY-NC-SA	请求全文