Xi'an Institute of Optics and Precision Mechanics,CAS
| 脊形波导量子级联激光器的制作方法 | |
| 其他题名 | 脊形波导量子级联激光器的制作方法 |
| 路秀真; 常秀兰; 胡颖; 刘峰奇; 王占国 | |
| 2005-11-23 | |
| 专利权人 | 中国科学院半导体研究所 |
| 公开日期 | 2005-11-23 |
| 授权国家 | 中国 |
| 专利类型 | 发明申请 |
| 摘要 | 一种脊形波导量子级联激光器的制作方法，其特征在于，包括如下步骤：(A)在半导体衬底上生长量子级联结构，作为激光器的有源区和波导层；(B)在量子级联结构材料上生长厚的二氧化硅，作为质子轰击掩蔽层；(C)涂光刻胶，刻蚀出条形；(D)带胶进行质子轰击，去胶；(E)生长一薄层二氧化硅，在解理处刻蚀出条形作为解理标识；(F)蒸电极，解理，压焊。 |
| 其他摘要 | 一种脊形波导量子级联激光器的制作方法，其特征在于，包括如下步骤：(A)在半导体衬底上生长量子级联结构，作为激光器的有源区和波导层；(B)在量子级联结构材料上生长厚的二氧化硅，作为质子轰击掩蔽层；(C)涂光刻胶，刻蚀出条形；(D)带胶进行质子轰击，去胶；(E)生长一薄层二氧化硅，在解理处刻蚀出条形作为解理标识；(F)蒸电极，解理，压焊。 |
| 申请日期 | 2004-05-20 |
| 专利号 | CN1700541A |
| 专利状态 | 失效 |
| 申请号 | CN200410043265.6 |
| 公开（公告）号 | CN1700541A |
| IPC 分类号 | H01S5/22 |
| 专利代理人 | 汤保平 |
| 代理机构 | 中科专利商标代理有限责任公司 |
| 文献类型 | 专利 |
| 条目标识符 | http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/90429 |
| 专题 | 半导体激光器专利数据库 |
| 作者单位 | 中国科学院半导体研究所 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 路秀真,常秀兰,胡颖,等. 脊形波导量子级联激光器的制作方法. CN1700541A[P]. 2005-11-23. |
| 条目包含的文件 | ||||||
| 文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
| CN1700541A.PDF（247KB） | 专利 | 开放获取 | CC BY-NC-SA | 请求全文 | ||
| 个性服务 |
| 推荐该条目 |
| 保存到收藏夹 |
| 查看访问统计 |
| 导出为Endnote文件 |
| 谷歌学术 |
| 谷歌学术中相似的文章 |
| [路秀真]的文章 |
| [常秀兰]的文章 |
| [胡颖]的文章 |
| 百度学术 |
| 百度学术中相似的文章 |
| [路秀真]的文章 |
| [常秀兰]的文章 |
| [胡颖]的文章 |
| 必应学术 |
| 必应学术中相似的文章 |
| [路秀真]的文章 |
| [常秀兰]的文章 |
| [胡颖]的文章 |
| 相关权益政策 |
| 暂无数据 |
| 收藏/分享 |
除非特别说明，本系统中所有内容都受版权保护，并保留所有权利。
修改评论