一种制作双波长分布反馈集成激光器的方法

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	一种制作双波长分布反馈集成激光器的方法
其他题名	一种制作双波长分布反馈集成激光器的方法
	朱洪亮; 潘教青; 赵玲娟; 王宝军; 王圩
	2012-08-29
专利权人	中国科学院半导体研究所
公开日期	2012-08-29
授权国家	中国
专利类型	发明申请
摘要	本发明公开了一种制作双波长分布反馈集成激光器的方法，该双波长分布反馈集成激光器用于探测CO与CH4的浓度，该方法包括：在掺杂磷化铟衬底上制作长条形介质掩膜图形；在掺杂磷化铟衬底上外延生长有源增益区和复合光栅层，在该复合光栅层上制作光栅；在该光栅上外延生长掺杂磷化铟盖层和重掺杂欧姆接触层，并制作串行条形波导结构或并行条形波导耦合结构；其余按标准激光器管芯工艺和光纤耦合工艺完成后续制作，得到双波长分布反馈集成激光器。利用本发明提供的方法制作的双波长分布反馈集成激光器，结合目前通用的宽谱红外探测器及电路处理技术，能够将CO和CH4两种气体浓度的检测合并于同一仪器内，实现对CO与CH4两种气体浓度的快速检测和预警。
其他摘要	本发明公开了一种制作双波长分布反馈集成激光器的方法，该双波长分布反馈集成激光器用于探测CO与CH4的浓度，该方法包括：在掺杂磷化铟衬底上制作长条形介质掩膜图形；在掺杂磷化铟衬底上外延生长有源增益区和复合光栅层，在该复合光栅层上制作光栅；在该光栅上外延生长掺杂磷化铟盖层和重掺杂欧姆接触层，并制作串行条形波导结构或并行条形波导耦合结构；其余按标准激光器管芯工艺和光纤耦合工艺完成后续制作，得到双波长分布反馈集成激光器。利用本发明提供的方法制作的双波长分布反馈集成激光器，结合目前通用的宽谱红外探测器及电路处理技术，能够将CO和CH4两种气体浓度的检测合并于同一仪器内，实现对CO与CH4两种气体浓度的快速检测和预警。
申请日期	2012-05-17
专利号	CN102651535A
专利状态	授权
申请号	CN201210154197.5
公开（公告）号	CN102651535A
IPC 分类号	H01S5/22 \| H01S5/12
专利代理人	宋焰琴
代理机构	中科专利商标代理有限责任公司
文献类型	专利
条目标识符	http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/90381
专题	半导体激光器专利数据库
作者单位	中国科学院半导体研究所
推荐引用方式 GB/T 7714	朱洪亮,潘教青,赵玲娟,等. 一种制作双波长分布反馈集成激光器的方法. CN102651535A[P]. 2012-08-29.

条目包含的文件
文件名称/大小	文献类型	版本类型	开放类型	使用许可
CN102651535A.PDF（557KB）	专利		开放获取	CC BY-NC-SA	请求全文