Xi'an Institute of Optics and Precision Mechanics,CAS
| 一种垂直腔面激光器及其制作方法 | |
| 其他题名 | 一种垂直腔面激光器及其制作方法 |
| 姜勋财; 王任凡; 汤宝; 罗飙; 余兵; 朱拓; 吴振华 | |
| 2017-05-10 | |
| 专利权人 | 武汉光迅科技股份有限公司 |
| 公开日期 | 2017-05-10 |
| 授权国家 | 中国 |
| 专利类型 | 发明申请 |
| 摘要 | 本发明涉及激光器技术领域，提供了一种垂直腔面激光器及其制作方法。该激光器衬底1、N型分布布拉格反射镜组2、有源区3、氧化限制层4、P面电极5、光学膜6、第二光栅层7和BCB钝化层8；其中，所述氧化限制层4上设置有通过氧化形成的第一光栅；所述P型分布布拉格反射镜组6的出光面上刻蚀制作有第二光栅。本发明实施例通过氧化形成的第一光栅的引入，实现有源区电流的各向异性注入，有效的缓解载流子注入各向同性所带来的各种问题，如空间烧孔现象等，同时第二光栅的引入进一步的缓解输出光的多模和散射问题，实现在颈向的自聚偏振光输出。 |
| 其他摘要 | 本发明涉及激光器技术领域，提供了一种垂直腔面激光器及其制作方法。该激光器衬底1、N型分布布拉格反射镜组2、有源区3、氧化限制层4、P面电极5、光学膜6、第二光栅层7和BCB钝化层8；其中，所述氧化限制层4上设置有通过氧化形成的第一光栅；所述P型分布布拉格反射镜组6的出光面上刻蚀制作有第二光栅。本发明实施例通过氧化形成的第一光栅的引入，实现有源区电流的各向异性注入，有效的缓解载流子注入各向同性所带来的各种问题，如空间烧孔现象等，同时第二光栅的引入进一步的缓解输出光的多模和散射问题，实现在颈向的自聚偏振光输出。 |
| 申请日期 | 2017-02-28 |
| 专利号 | CN106654856A |
| 专利状态 | 申请中 |
| 申请号 | CN201710113863.3 |
| 公开（公告）号 | CN106654856A |
| IPC 分类号 | H01S5/183 |
| 专利代理人 | 何婷 |
| 代理机构 | 深圳市爱迪森知识产权代理事务所(普通合伙) |
| 文献类型 | 专利 |
| 条目标识符 | http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/90326 |
| 专题 | 半导体激光器专利数据库 |
| 作者单位 | 武汉光迅科技股份有限公司 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 姜勋财,王任凡,汤宝,等. 一种垂直腔面激光器及其制作方法. CN106654856A[P]. 2017-05-10. |
| 条目包含的文件 | ||||||
| 文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
| CN106654856A.PDF（258KB） | 专利 | 开放获取 | CC BY-NC-SA | 请求全文 | ||
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