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半导体器件及其制造方法
其他题名半导体器件及其制造方法
增井勇志; 荒木田孝博; 山内义则; 菊地加代子; 幸田伦太郎; 山口典彦; 大木智之
2008-02-20
专利权人索尼株式会社
公开日期2008-02-20
授权国家中国
专利类型发明申请
摘要本发明提供了一种能够显著地增加产量的半导体器件的制造方法以及通过使用该方法制造的半导体器件。在基板上形成半导体层之后,对于每个单位芯片面积在半导体层中形成具有至少一个相互不同的参数值的作为一组的多个功能部分。然后,测量和评估根据参数值改变的对象并之后,对于每个芯片面积分割基板,使得作为评估的结果的与给定标准对应的功能部分不被断开。由此,与给定标准对应的至少一个功能部分可通过适当地调整每个参数值由每个芯片面积形成。
其他摘要本发明提供了一种能够显著地增加产量的半导体器件的制造方法以及通过使用该方法制造的半导体器件。在基板上形成半导体层之后,对于每个单位芯片面积在半导体层中形成具有至少一个相互不同的参数值的作为一组的多个功能部分。然后,测量和评估根据参数值改变的对象并之后,对于每个芯片面积分割基板,使得作为评估的结果的与给定标准对应的功能部分不被断开。由此,与给定标准对应的至少一个功能部分可通过适当地调整每个参数值由每个芯片面积形成。
申请日期2007-06-20
专利号CN101127434A
专利状态失效
申请号CN200710182107.2
公开(公告)号CN101127434A
IPC 分类号H01S5/183 | H01S5/187 | H01S5/00
专利代理人彭久云 | 马高平
代理机构北京市柳沈律师事务所
文献类型专利
条目标识符http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/90299
专题半导体激光器专利数据库
作者单位索尼株式会社
推荐引用方式
GB/T 7714
增井勇志,荒木田孝博,山内义则,等. 半导体器件及其制造方法. CN101127434A[P]. 2008-02-20.
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CN101127434A.PDF(2818KB)专利 开放获取CC BY-NC-SA请求全文
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