Xi'an Institute of Optics and Precision Mechanics,CAS
一种氮化物锁模回音壁微激光器及其制备方法 | |
其他题名 | 一种氮化物锁模回音壁微激光器及其制备方法 |
朱刚毅; 王永进 | |
2017-05-31 | |
专利权人 | 南京邮电大学 |
公开日期 | 2017-05-31 |
授权国家 | 中国 |
专利类型 | 发明申请 |
摘要 | 本发明公开了一种氮化物锁模回音壁微激光器及其制备方法,在硅衬底上的氮化物材料,利用光刻工艺和深硅刻蚀工艺制备悬空的带缺口的环形薄膜微腔,然后在微腔的缺口中修饰金纳米棒作为半导体饱和吸收体,在合适的光泵浦条件下,实现氮化物的锁模回音壁激光。 |
其他摘要 | 本发明公开了一种氮化物锁模回音壁微激光器及其制备方法,在硅衬底上的氮化物材料,利用光刻工艺和深硅刻蚀工艺制备悬空的带缺口的环形薄膜微腔,然后在微腔的缺口中修饰金纳米棒作为半导体饱和吸收体,在合适的光泵浦条件下,实现氮化物的锁模回音壁激光。 |
申请日期 | 2016-12-19 |
专利号 | CN106785896A |
专利状态 | 授权 |
申请号 | CN201611181765.5 |
公开(公告)号 | CN106785896A |
IPC 分类号 | H01S5/06 | H01S5/065 | H01S5/10 |
专利代理人 | 刘琦 |
代理机构 | 江苏爱信律师事务所 |
文献类型 | 专利 |
条目标识符 | http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/90220 |
专题 | 半导体激光器专利数据库 |
作者单位 | 南京邮电大学 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 朱刚毅,王永进. 一种氮化物锁模回音壁微激光器及其制备方法. CN106785896A[P]. 2017-05-31. |
条目包含的文件 | ||||||
文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
CN106785896A.PDF(129KB) | 专利 | 开放获取 | CC BY-NC-SA | 请求全文 |
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