Xi'an Institute of Optics and Precision Mechanics,CAS
| 全硅分布式反馈激光器 | |
| 其他题名 | 全硅分布式反馈激光器 |
| 王东辰; 张驰; 陆明; 吴翔; 张树宇 | |
| 2017-11-07 | |
| 专利权人 | 复旦大学 |
| 公开日期 | 2017-11-07 |
| 授权国家 | 中国 |
| 专利类型 | 发明申请 |
| 摘要 | 本发明属于激光技术领域，具体为一种全硅分布式反馈激光器。该激光器的谐振腔由直接在纳米晶薄膜上压印出布拉格光栅构成；同时纳米晶薄膜提供光增益，从而构成分布式反馈激光器。纳米晶薄膜由光刻胶HSQ经过热退火转化形成，之后进行高压氢钝化处理，使其具有和常规激光半导体材料相当的高光增益。布拉格光栅通过纳米压印技术制备，其光栅周期对应激光波长的二阶布拉格共振条件；并且激光在垂直于光栅表面方向具有很高的衍射效率，可以实现激光的垂直出射。本发明实现了一种全硅材料的片上激光器，该激光器结构紧凑、成本低，避免了基于半导体增益材料的硅基激光器与传统硅工艺不兼容的弊端。 |
| 其他摘要 | 本发明属于激光技术领域，具体为一种全硅分布式反馈激光器。该激光器的谐振腔由直接在纳米晶薄膜上压印出布拉格光栅构成；同时纳米晶薄膜提供光增益，从而构成分布式反馈激光器。纳米晶薄膜由光刻胶HSQ经过热退火转化形成，之后进行高压氢钝化处理，使其具有和常规激光半导体材料相当的高光增益。布拉格光栅通过纳米压印技术制备，其光栅周期对应激光波长的二阶布拉格共振条件；并且激光在垂直于光栅表面方向具有很高的衍射效率，可以实现激光的垂直出射。本发明实现了一种全硅材料的片上激光器，该激光器结构紧凑、成本低，避免了基于半导体增益材料的硅基激光器与传统硅工艺不兼容的弊端。 |
| 申请日期 | 2017-08-01 |
| 专利号 | CN107332106A |
| 专利状态 | 授权 |
| 申请号 | CN201710647867.X |
| 公开（公告）号 | CN107332106A |
| IPC 分类号 | H01S5/12 | H01S5/30 |
| 专利代理人 | 陆飞 | 陆尤 |
| 代理机构 | 上海正旦专利代理有限公司 |
| 文献类型 | 专利 |
| 条目标识符 | http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/90204 |
| 专题 | 半导体激光器专利数据库 |
| 作者单位 | 复旦大学 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 王东辰,张驰,陆明,等. 全硅分布式反馈激光器. CN107332106A[P]. 2017-11-07. |
| 条目包含的文件 | ||||||
| 文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
| CN107332106A.PDF（1191KB） | 专利 | 开放获取 | CC BY-NC-SA | 请求全文 | ||
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