一种脊波导激光器的金属电极层的制作方法

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	一种脊波导激光器的金属电极层的制作方法
其他题名	一种脊波导激光器的金属电极层的制作方法
	郝润豹; 逯心红; 尚飞
	2017-02-22
专利权人	青岛海信宽带多媒体技术有限公司
公开日期	2017-02-22
授权国家	中国
专利类型	发明申请
摘要	本发明提供了一种脊波导激光器的金属电极层的制作方法。该方法包括：在晶圆表面形成脊结构；在晶元的表面涂覆第一光刻胶层，第一光刻胶层覆盖脊结构；在第一光刻胶层上涂覆第二光刻胶层；对脊结构上方的第一光刻胶层及第二光刻胶层进行曝光，对第二光刻胶层显影，使第一光刻胶层裸露；对裸露的第一光刻胶层进行显影；通过磁控溅射进行金属沉积形成沉积层；去除剩余的第一光刻胶层及第二光刻胶层，剥离沉积层。磁控溅射方法的离子束的方向性比较自由，则溅射粒子可以直接沉积在脊结构的侧壁上，相比较电子束蒸发设备，无需分别转动脊波导激光器，使脊波导激光器倾斜，进行两次沉积。
其他摘要	本发明提供了一种脊波导激光器的金属电极层的制作方法。该方法包括：在晶圆表面形成脊结构；在晶元的表面涂覆第一光刻胶层，第一光刻胶层覆盖脊结构；在第一光刻胶层上涂覆第二光刻胶层；对脊结构上方的第一光刻胶层及第二光刻胶层进行曝光，对第二光刻胶层显影，使第一光刻胶层裸露；对裸露的第一光刻胶层进行显影；通过磁控溅射进行金属沉积形成沉积层；去除剩余的第一光刻胶层及第二光刻胶层，剥离沉积层。磁控溅射方法的离子束的方向性比较自由，则溅射粒子可以直接沉积在脊结构的侧壁上，相比较电子束蒸发设备，无需分别转动脊波导激光器，使脊波导激光器倾斜，进行两次沉积。
申请日期	2016-10-28
专利号	CN106451067A
专利状态	申请中
申请号	CN201610961474.1
公开（公告）号	CN106451067A
IPC 分类号	H01S5/042 \| H01S5/22
专利代理人	邢雪红 \| 乔彬
代理机构	北京律智知识产权代理有限公司
文献类型	专利
条目标识符	http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/90187
专题	半导体激光器专利数据库
作者单位	青岛海信宽带多媒体技术有限公司
推荐引用方式 GB/T 7714	郝润豹,逯心红,尚飞. 一种脊波导激光器的金属电极层的制作方法. CN106451067A[P]. 2017-02-22.

条目包含的文件
文件名称/大小	文献类型	版本类型	开放类型	使用许可
CN106451067A.PDF（232KB）	专利		开放获取	CC BY-NC-SA	请求全文