一种面发射激光器及其制备方法

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	一种面发射激光器及其制备方法
其他题名	一种面发射激光器及其制备方法
	赵勇明; 孙玉润; 于淑珍; 何洋; 宋焱; 董建荣
	2017-07-07
专利权人	中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
公开日期	2017-07-07
授权国家	中国
专利类型	发明申请
摘要	本发明公开了一种面发射激光器，从下至上依次为底电极、衬底、下布拉格反射镜、有源区、氧化限制层、上布拉格反射镜、接触层、外接电极、还包括隔离槽以及覆设于所述隔离槽表面的钝化层，以及连接于所述接触层与所述外接电极之间的接触电极；所述隔离槽至所述接触层表面往下延伸贯穿所述上布拉格反射镜到达所述氧化限制层，所述接触电极为石墨烯透明电极。本发明采用石墨烯材料在出光端面制作石墨烯透明电极，与出光端面外接电极形成顶电极，来代替现有的环形金属电极，实现电流的注入，能够改善器件工作的稳定性。而且该石墨烯透明电极具有较高的导热性和导电性、机械强度高和极高的透光性等优点。
其他摘要	本发明公开了一种面发射激光器，从下至上依次为底电极、衬底、下布拉格反射镜、有源区、氧化限制层、上布拉格反射镜、接触层、外接电极、还包括隔离槽以及覆设于所述隔离槽表面的钝化层，以及连接于所述接触层与所述外接电极之间的接触电极；所述隔离槽至所述接触层表面往下延伸贯穿所述上布拉格反射镜到达所述氧化限制层，所述接触电极为石墨烯透明电极。本发明采用石墨烯材料在出光端面制作石墨烯透明电极，与出光端面外接电极形成顶电极，来代替现有的环形金属电极，实现电流的注入，能够改善器件工作的稳定性。而且该石墨烯透明电极具有较高的导热性和导电性、机械强度高和极高的透光性等优点。
申请日期	2015-12-30
专利号	CN106936069A
专利状态	申请中
申请号	CN201511022383.3
公开（公告）号	CN106936069A
IPC 分类号	H01S5/042 \| H01S5/183
专利代理人	孙伟峰 \| 侯艺
代理机构	深圳市铭粤知识产权代理有限公司
文献类型	专利
条目标识符	http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/90154
专题	半导体激光器专利数据库
作者单位	中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
推荐引用方式 GB/T 7714	赵勇明,孙玉润,于淑珍,等. 一种面发射激光器及其制备方法. CN106936069A[P]. 2017-07-07.

条目包含的文件
文件名称/大小	文献类型	版本类型	开放类型	使用许可
CN106936069A.PDF（90KB）	专利		开放获取	CC BY-NC-SA	请求全文